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位移/俯仰角/偏擺角同步測(cè)量激光干涉儀（型號(hào)ZLM900）

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上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品功能在同一光路方向，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行位移、偏擺角和俯仰角的同步測(cè)量

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品功能

在同一光路方向，對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行位移、偏擺角和俯仰角的同步測(cè)量。

系統(tǒng)特點(diǎn)

*光導(dǎo)性激光器，體積小，重量輕。

*干涉鏡集成在激光器里，光路調(diào)節(jié)極其簡(jiǎn)單。

*反射鏡個(gè)性化設(shè)計(jì)，廣泛應(yīng)用于多種場(chǎng)合。

*三軸數(shù)據(jù)同步精度：20ns。

*所有3軸實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)測(cè)量，無(wú)延時(shí)。

*使用高精度溫度傳感器進(jìn)行數(shù)據(jù)補(bǔ)償。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)ZLM900	參數(shù)
位移測(cè)量范圍	5 m
位移測(cè)量分辨率	20 pm
位移測(cè)量精度	±0.1μm/m
角度測(cè)量范圍	使用角錐反射鏡：±12.5° 使用平面反射鏡：±1.5角分（建議距離小于2m）
角度測(cè)量分辨率（位移分辨率為0.1nm時(shí)）	0.002角秒
激光束間距	12 mm
波長(zhǎng)	632.8nm
穩(wěn)頻精度	2x10^-8
預(yù)熱時(shí)長(zhǎng)	10-20分鐘
工作溫度	15-30℃
激光器含基座尺寸	202x137x72 mm
反射鏡尺寸	45x45x20 mm
數(shù)據(jù)處理器尺寸	450x450x150 mm
激光器含基座重量	1.9 kg
反射鏡重量	80 g
數(shù)據(jù)處理器重量	8 kg
數(shù)據(jù)接口	RS232C、USB
激光器與數(shù)據(jù)處理器之間線纜長(zhǎng)度	3 m （可選10 m）
工作電源	100-240VAC，47-63Hz
激光安全等級(jí)	2M，II