北京華旭世紀(jì)HXMF02系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，采用了毛細(xì)管熱傳感技術(shù)和熱溫差原理，即流動(dòng)中的流體與熱源之間熱量交換關(guān)系，來測(cè)量和控制氣體的質(zhì)量流量。由于熱溫差只和氣體的質(zhì)量流量有關(guān)，因此其測(cè)量值不受氣體的溫度和壓力變化的影響。
HXMF02系列小流量熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品，采用了緊湊型設(shè)計(jì)，體積小巧精致，產(chǎn)品堅(jiān)固耐用。產(chǎn)品使用了線性化校正電路和EMI保護(hù)，具備安全可靠、性能穩(wěn)定、低功耗、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
在數(shù)據(jù)傳輸上，不但具備傳統(tǒng)的有線式，還具備局域網(wǎng)無線傳輸數(shù)據(jù)，互聯(lián)網(wǎng)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺(tái)等強(qiáng)大功能?？捎行У?/span>滿足各種客戶的不同工況需求，廣泛應(yīng)用于諸多工業(yè)和科研領(lǐng)域。

：：產(chǎn)品特色：：

● 快速響應(yīng)
●
● 測(cè)量精確，出色的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
● 可測(cè)量腐蝕性氣體，堅(jiān)固耐用
● 精巧的外觀設(shè)計(jì)，全面的安全保護(hù)電路及EMI
● 可配專用顯示表，顯示瞬時(shí)流量
● 諸多選項(xiàng)：高精度、自定義量程、流量信號(hào)無線傳輸
遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)監(jiān)控云平臺(tái)、短信報(bào)警、郵件報(bào)警等

：：典型應(yīng)用：：

· 光伏及晶體制備 · 真空行業(yè)及鍍膜 · 泄漏檢測(cè)· 爐窯及微反應(yīng)裝置
· 半導(dǎo)體行業(yè) · 大學(xué)/研究所· 分析儀器 · 氣體混合配比
· 計(jì)量及計(jì)價(jià)· 燃料電池 · 燃燒測(cè)試 · 其它氣體測(cè)控場(chǎng)合

：：性能指標(biāo)：：

介質(zhì)要求：與介質(zhì)兼容的氣體，支持腐蝕性氣體
介質(zhì)種類：也可現(xiàn)場(chǎng)更改-需咨詢我們
標(biāo)定工況：0℃ @ 1 atm（氮?dú)猓?br>測(cè)控量程：從0～5sccm到0～30slm任選
量程比：50:1
精度：±1.5%滿量程（>15L為2%）高精選項(xiàng)：±1%滿量程、±1%讀數(shù)
重復(fù)性：±0.2%滿量程
流量分辨率：0.1%滿量程
響應(yīng)時(shí)間：2S
閥門狀態(tài)：常閉（僅控制器，流量計(jì)無閥門）
工作溫度：5～45℃
工作濕度：0～RH（無冷凝）
工作壓差范圍：流量計(jì) 0.02MPa～3MPa
控制器 0.1～0.5MPa（>10SLM為0.1～0.3MPa）
耐壓：3MPa，可選高壓選項(xiàng)10MPa
輸入輸出信號(hào)：標(biāo)準(zhǔn)為0～5V
可選4～20mA、1～5V、Modbus、RS485
輸入輸出電氣參數(shù)：輸入阻抗＞100kΩ，輸出電流＜3mA
供電電壓：+15VDC@50mA -15VDC@200mA
電氣接口：DB 15pin
泄漏率：≤1×10-9次方Pa·立方米 /S（He）
接液材質(zhì)：316L SS
密封材料：根據(jù)氣體種類由廠家選擇或包括：PTFE、氟橡膠FKM、全氟橡膠FFKM、NBR、EPDM、CR、VMQ，等
管道接頭：1/4〃VCR，1/8、1/4、3/8雙卡套，3、6、8、10mm雙卡套
外形尺寸：長(zhǎng)×寬×高：127×30×100mm
產(chǎn)品重量：流量計(jì)0.72kg 控制器0.88kg