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V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM

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北京塞爾瑟斯儀表科技有限公司

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V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM●通用型,適用于10MPa以下各種氣體●響應(yīng)速度100ms,無需預(yù)熱,上電即可操作V10FD中高壓型流量計(jì)●無熱漂移,長(zhǎng)期穩(wěn)定性0

詳細(xì)介紹

V10FD-M/H中高壓型MFC/MFM

● 通用型,適用于10MPa以下各種氣體
● 響應(yīng)速度100ms,無需預(yù)熱,上電即可操作                                                       V10FD中高壓型流量計(jì)
● 無熱漂移,長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年
● 數(shù)模兼容,可使用二次表或計(jì)算機(jī)控制和顯示流量
● 內(nèi)置閥控指示燈/通訊指示燈/流量指示燈
● 內(nèi)置4種氣體,無比熱容附加誤差,不影響精度

V10FD-M/H采用全不銹鋼傳感器，適合于測(cè)量各種與316

不銹鋼兼容的氣體。該產(chǎn)品為模擬和數(shù)字兼容型設(shè)計(jì)：可通

過模擬型二次表或PLC進(jìn)行設(shè)定和顯示瞬時(shí)流量；也可通過

數(shù)字接口直接與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通訊。具有通用于模擬型控制系

統(tǒng)和數(shù)字型控制系統(tǒng)的特點(diǎn)。
V10FD-M/H采用無熱漂移,無響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量流量測(cè)

量原理。多氣體多量程的設(shè)計(jì)便于用戶現(xiàn)場(chǎng)配置流量計(jì)：通

過撥碼開關(guān)可以現(xiàn)場(chǎng)選擇四種測(cè)量氣體，每種氣體有3種校

準(zhǔn)量程，六個(gè)LED指示燈可以較直觀的顯示V10FD-M/H的

各種工作狀態(tài)。如果需要對(duì)氣體流量進(jìn)行控制時(shí),還可以加裝

電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID調(diào)節(jié)功能。
與傳統(tǒng)熱式氣體質(zhì)量流量控制器/計(jì)不同,當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系

數(shù)時(shí),V10FD-M/H沒有附加的比熱容誤差,所以,即使測(cè)量氣體與

出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同,也不會(huì)影響測(cè)量精度。

產(chǎn)品應(yīng)用 0FD中高壓型控制器

真空半導(dǎo)體航空航天工業(yè)制造石油化工
冶金煤炭環(huán)境分析食品藥品生物科技

V1技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo):    V10FD-M/HC質(zhì)量流量控制器   V10FD-M/HM質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍:    小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～250SLM
測(cè)控范圍:    控制器閥控范圍50:1 流量計(jì)量程比100:1
準(zhǔn)確度: 流量：±1.5%讀數(shù)±0.2%滿量程
             可選±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程
             壓力：0.5%F.S 溫度：±1℃
線    性:    ±0.5%F.S
重復(fù)精度:    ±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間:    100ms 10ms
數(shù)字量:    RS232/485，MODBUS協(xié)議
模擬量:    0～5V、4～20mA、1～5V
供    電:    24V/±15V可選
工作溫度:    0～50℃
工作壓力:    工作壓差：0.03～0.5MPa 工作壓降：<0.01Mpa
耐壓:    中壓3MPa，高壓10MPa
電氣連接:    DB15孔
漏    率:     1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù):   ±0.015%F.S/℃
底座材質(zhì):    316L不銹鋼
密封材料:    氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接   頭:    VCR1/4;swagelokφ6