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深圳市中圖儀器股份有限公司
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聯(lián)系方式：何漢英/羅健查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2021-11-10 16:19:26瀏覽次數(shù)：191次
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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品：98條
所在地區(qū)：廣東深圳市
聯(lián)系人：何漢英/羅健 （市場(chǎng)推廣）
SuperViewWX100白光干涉測(cè)頭
SuperView WX 100白光干涉測(cè)頭是一款非接觸式精密光學(xué)測(cè)頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺(tái)上，在產(chǎn)線上對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)化形式的測(cè)量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。
圖1.WX-100白光干涉測(cè)頭
1、測(cè)量功能：能夠?qū)崿F(xiàn)樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；
2、分析功能：能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級(jí)別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù)；
3、編程功能：支持預(yù)配置數(shù)據(jù)處理和分析工具步驟，一鍵完成測(cè)量到分析全過(guò)程；
4、批量分析：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對(duì)同類(lèi)型參數(shù)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析；
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
應(yīng)用范例：
| 半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC |
 |
| 3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差 |
 |
1、便攜可搭載 *懸臂式結(jié)構(gòu)，可方便地搭載在各類(lèi)龍門(mén)架構(gòu)水平位移平臺(tái)上，通過(guò)軟件接口的連接，即可構(gòu)成一臺(tái)可自動(dòng)測(cè)量的超高級(jí)精度的光學(xué)3D表面輪廓儀；
2、復(fù)合型掃描算法 結(jié)合了PSI相移法高精度和VSI垂直法大范圍的雙重優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移掃描重建算法，能夠適配 從超光滑到粗糙、光滑弧面等所有類(lèi)型樣品，一鍵掃描，無(wú)須切換算法；
3、防撞保護(hù)功能 Z向防撞傳感器，當(dāng)鏡頭碰到樣件表面，進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，不再下移；
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