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在半導(dǎo)體生產(chǎn)中有一個(gè)很重要的介質(zhì)就是“水",想要獲得符合生產(chǎn)需求的水質(zhì),需要依靠半導(dǎo)體超純水設(shè)備。半導(dǎo)體超純水設(shè)備在制取超純水的過(guò)程中有一個(gè)很重要的步驟就是通過(guò)反滲透膜去除水中的雜質(zhì),長(zhǎng)期使用后反滲透膜也會(huì)因?yàn)橐恍┰虮欢氯?,這就是我們常見(jiàn)的半導(dǎo)體超純水設(shè)備堵塞問(wèn)題。下面我們就來(lái)看下這半導(dǎo)體超純水設(shè)備的堵塞問(wèn)題是怎么形成的:
一、化學(xué)結(jié)垢問(wèn)題:在半導(dǎo)體超純水設(shè)備的原水中含有大量的無(wú)機(jī)物離子,原水沒(méi)經(jīng)過(guò)處理之前,一般來(lái)說(shuō),離子的濃度是不會(huì)達(dá)到飽和度,也就不會(huì)發(fā)生生成水垢的問(wèn)題。但是,當(dāng)原水經(jīng)過(guò)反滲透系統(tǒng)之后,源水按反滲透系統(tǒng)75%的回收率計(jì)算的話,濃水已經(jīng)經(jīng)過(guò)了4倍的濃縮,這時(shí)候水質(zhì)的離子濃度已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)到其飽和度,這時(shí)候就會(huì)結(jié)晶析出,生成水垢,這就是半導(dǎo)體超純水設(shè)備堵塞問(wèn)題中的化學(xué)結(jié)垢問(wèn)題。
二、生物污堵問(wèn)題:我們都知道水中除了含有大量無(wú)機(jī)物離子還有大量的微生物,特別是地表水,其微生物含量非常高。如果我們使用天然水作為半導(dǎo)體超純水設(shè)備的原水時(shí),會(huì)有大量的微生物進(jìn)入到反滲透系統(tǒng)中,而且,我們得使用環(huán)境一般來(lái)說(shuō)是20攝氏度到40攝氏度,這一溫度下非常適合微生物的生長(zhǎng),微生物在這個(gè)環(huán)境下會(huì)快速繁殖生長(zhǎng),使其含量達(dá)到一個(gè)很高的水平。隨著微生物含量的增加就會(huì)變成我們所受的生物污堵問(wèn)題。對(duì)于生物污堵問(wèn)題,我們要在預(yù)處理環(huán)節(jié)對(duì)原水進(jìn)行一定處理,使進(jìn)入半導(dǎo)體超純水設(shè)備的微生物含量盡量減少,同時(shí),我們也要定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行殺毒滅菌處理。
三、懸浮物、膠體污堵:這個(gè)我們就很好理解了,大家都知道的,水中有很多各種各樣的懸浮物質(zhì)、溶解物質(zhì)和膠體物質(zhì)。在反滲透膜對(duì)水和溶質(zhì)進(jìn)行分離的時(shí)候,如果反滲透原水中的懸浮物和膠體物質(zhì)在膜表面出現(xiàn)堆積現(xiàn)象就會(huì)使反滲透膜受到污染,形成懸浮物、膠體污堵。對(duì)于這種情況,我們可以根據(jù)原水水質(zhì)來(lái)選擇預(yù)處理裝置,對(duì)原水進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚?,減少進(jìn)入反滲透系統(tǒng)懸浮物膠體等。
半導(dǎo)體超純水設(shè)備在日常運(yùn)行時(shí),由于操作不當(dāng),還會(huì)出現(xiàn)其他各種各樣的問(wèn)題,如果不及時(shí)解決,就會(huì)影響設(shè)備的出水水質(zhì)以及設(shè)備的使用壽命,因此半導(dǎo)體超純水設(shè)備日常維護(hù)保養(yǎng)非常重要。
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