超純水是什么水?

　　超純水是一種高度純凈的水，它是普通的水去除掉礦物質(zhì)、微粒、細(xì)菌、微生物和溶解氣體后得到的一種水。它也被稱(chēng)為“去離子水",意味著離子成分已被*去除。

　　生產(chǎn)半導(dǎo)體需經(jīng)過(guò)8個(gè)主要流程。超純水主要用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中一些工藝前后的清洗操作。比如蝕刻工藝后，對(duì)晶圓進(jìn)行切割，并使用超純水清洗殘留的碎片;或者,在離子注入工藝后，清洗殘留離子。另外，超純水也用于晶圓拋光或晶圓切割。

　　超純水在半導(dǎo)體工藝中的作用是什么?

　　處理納米級(jí)超精細(xì)工藝的半導(dǎo)體時(shí)，如果在各種工藝前后,殘留某個(gè)小顆粒,便會(huì)引起錯(cuò)誤。因此，在各種工藝前后使用超純水清洗晶圓，可確保清潔度，從而提升半導(dǎo)體生產(chǎn)率(產(chǎn)量)。

　　超純水是如何制取的?

　　傳統(tǒng)的超純水制取工藝是采用陰陽(yáng)樹(shù)脂交換設(shè)備，該工藝的缺點(diǎn)在于樹(shù)脂在使用一段時(shí)間以后要經(jīng)常再生。隨著膜分離技術(shù)的不斷成熟，采用反滲透工藝，或是采用反滲透后面再經(jīng)過(guò)EDI及拋光混床工藝來(lái)制取超純水，出水電導(dǎo)率可達(dá)18.2MΩ，滿足了芯片行業(yè)的用水需求。

　　超純水設(shè)備能連續(xù)穩(wěn)定地制備出高質(zhì)量的超純水，不會(huì)因樹(shù)脂再生而停止運(yùn)行。設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)比較緊湊，占地面積很小，可以為企業(yè)節(jié)省大量空間。設(shè)備出廠前需要進(jìn)行檢驗(yàn)，設(shè)備故障概率小，日常維護(hù)和維修操作非常簡(jiǎn)單。