lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000

超快質(zhì)量流量控制器，響應(yīng)時間為200毫秒。

熱傳感器實現(xiàn)100msec（典型值）的高速流量控制。 Lintec的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現(xiàn)腐蝕性氣體的超快速流量控制。

它具有1.0%的SP±流量精度的高精度，可以選擇數(shù)字通信方式DeviceNet和EtherCAT進行。

長處

• 超快流量控制 200 毫秒

• 準(zhǔn)確度±1%SP

• 工作溫度 5~50°C

• 金屬密封件

• 清潔（保證顆粒）

• 環(huán)境溫度補償傳感器

• EtherCAT通信

• 設(shè)備網(wǎng)絡(luò)™通信

超快流量控制

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造過程中，需要在小型化的同時提高吞吐量。 即使在控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器中，對縮短流量控制的啟動（啟動）時間的需求也在增加。 超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是一種非接觸式熱流量傳感器，不接觸流量傳感器和流量測量氣體，實現(xiàn)200ms的超高速響應(yīng)。 非接觸式可實現(xiàn)腐蝕性氣體流量測量的高速流量控制。

lintec快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器MC-7000

規(guī)格