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First-Nano System GmbH

2003年          創(chuàng)立于德國(guó)德累斯頓工業(yè)大學(xué)（Dresden University of Technology）

2008年          香港成立德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司  

2015年          上海成立德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)（香港）有限公司中國(guó)代表處，負(fù)責(zé)中國(guó)區(qū)業(yè)務(wù)

德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)成立以來，一直為客戶想的更多，Thinking more ?。。?/p>

產(chǎn)品范圍：

薄膜沉積/Thin Film Deposition 
E-Beam and Thermal Evaporation, PECVD, PLD, DLC, DC & RF Sputtering, Ion Beam Sputtering
刻蝕/Etching
RIE, DRIE, ICP, Ion Beam Milling, RIBE, Plasma, ALE
薄膜制程/Growth
ALD, PA-MOCVD, CNT, Graphene
表面處理/Surface Treatment
Ion Beam, PIII, Plasma, RTP
清洗/Cleaning
- Dry: Ion Beam, Plasma
- Wet: Megasonic, Brush, SC1, SC2, Piranha, O3DIW
其他/Other,
Device Testing System for Space Simulation, Heated Platens, Plasma Sources, Resist Stripping Systems