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上海斯邁歐分析儀器有限公司

主營產(chǎn)品: 氣相色譜、液相色譜、氣質(zhì)聯(lián)用儀、液質(zhì)聯(lián)用儀、原子吸收光譜儀、紫外分光光度計

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日立冷場發(fā)射掃描電鏡
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更新時間:2023-06-17 13:47:58瀏覽次數(shù):222

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【簡單介紹】
FE-SEM獲得的圖像分辨率高,信息豐富,樣品處理相對簡單,并且它可以觀察、測量并分析樣品的細微結(jié)構(gòu),因此被廣泛應(yīng)用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、生命科學(xué)、材料等領(lǐng)域。近年來,以Materials Integration為代表,其應(yīng)用領(lǐng)域及用途在不斷擴展,短時間內(nèi)獲取大量數(shù)據(jù),減輕作業(yè)負荷成為市場的一大需求。

為滿足這一需求,此次特推出的日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運行的冷場成像技術(shù),同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

在細微結(jié)構(gòu)分析中,日立冷場發(fā)射掃描電鏡SU8600可以實現(xiàn)低加速電壓觀察,對高分子等易受電子束照射影響的材料進行高分辨觀察。該系列產(chǎn)品的特點如下:

1.支持自動獲取數(shù)據(jù)

在FE-SEM的觀察和分析中,需要根據(jù)測量樣品與需求調(diào)整觀察條件。調(diào)整所需時間的長短取決于用戶的操作熟練度,這是造成數(shù)據(jù)質(zhì)量與效率差異的因素之一。此系列產(chǎn)品標配自動調(diào)整功能,可避免人為操作導(dǎo)致的差異。

此外,隨著儀器性能的提升,需要獲取的數(shù)據(jù)種類與數(shù)量也在增加,手動獲取各種大量數(shù)據(jù)會大大增加用戶的作業(yè)負擔。此系列產(chǎn)品可選配“EM Flow Creator",用戶可根據(jù)自身需求設(shè)定條件,自動獲取數(shù)據(jù),這對于未來通過獲取大量數(shù)據(jù)實現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動開發(fā)起到重要作用。

2.增加獲取信息的種類與數(shù)量

通過SEM能夠收集到多種信號,且此系列產(chǎn)品最多可以同時顯示和存儲6個檢測器的信號。在減少圖像獲取次數(shù)的同時能夠獲取多種信息。

此外,為一次性獲取大量信息,像素擴展到了40,960 x 30,720(選配),是之前型號的64倍。利用這一功能,可憑借一張數(shù)據(jù)圖像有效評估多處局部的細微結(jié)構(gòu)。

3.增強信號檢測能力

SU8600開發(fā)了多個新型選配檢測器,加強了對凹凸信息、發(fā)光信息的檢測能力。此外,還提高了背散射電子信號檢測的響應(yīng)速度。

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