全自動(dòng)化單臂式超聲波清洗烘干機(jī)
清洗工藝：超聲波清洗1（40khz)-超聲波清洗2（68khz)-旋流漂洗—熱風(fēng)干燥。設(shè)備主要部件由，單臂機(jī)械手，伺服橫移驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，伺服提升驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，氣動(dòng)手指抓取系統(tǒng)，氣動(dòng)上下料系統(tǒng)，循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，熱風(fēng)干燥系統(tǒng)，有機(jī)溶劑冷卻系統(tǒng)，自動(dòng)滅火系統(tǒng)，自動(dòng)槽蓋，有機(jī)溶劑蒸汽濃度檢測(cè)系統(tǒng)，智能User Interface控制系統(tǒng)等組成，超純水制取系統(tǒng)等組成。該設(shè)備的特點(diǎn)是清潔度高，自動(dòng)化程度高，解決了客戶基板清洗殘留嚴(yán)重，發(fā)光率低，合格率低的問(wèn)題。