全自動化單臂式超聲波清洗烘干機
清洗工藝：超聲波清洗1（40khz)-超聲波清洗2（68khz)-旋流漂洗—熱風(fēng)干燥。設(shè)備主要部件由，單臂機械手，伺服橫移驅(qū)動系統(tǒng)，伺服提升驅(qū)動系統(tǒng)，氣動手指抓取系統(tǒng)，氣動上下料系統(tǒng)，循環(huán)過濾系統(tǒng)，熱風(fēng)干燥系統(tǒng)，有機溶劑冷卻系統(tǒng)，自動滅火系統(tǒng)，自動槽蓋，有機溶劑蒸汽濃度檢測系統(tǒng)，智能User Interface控制系統(tǒng)等組成，超純水制取系統(tǒng)等組成。該設(shè)備的特點是清潔度高，自動化程度高，解決了客戶基板清洗殘留嚴(yán)重，發(fā)光率低，合格率低的問題。