目錄:安徽科冪儀器有限公司>>爐式合成設(shè)備>>TF系列管式爐式設(shè)備>> 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2025-02-18 16:04:46瀏覽次數(shù)：142評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是環(huán)保在線上看到的信息，謝謝!
| 加熱方式 | 電阻絲 | 控溫精度 | ±1℃ |
|---|---|---|---|
| 升溫速度（達(dá)到最高溫） | ≤10℃//min | 儀器種類 | 管式爐 |
| 最大功率 | 3KkW | 最高溫度 | 1200℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
特點(diǎn)：高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個(gè)反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū).并可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫功能；
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)與傳統(tǒng)CVD相比較.生長(zhǎng)溫度更低
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 型號(hào) | TFE - 1200 - 50 - 220 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng) |
可達(dá)溫度 | 1150℃（短期） | |
額定溫度 | 1100℃ | |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
控制精度 | ±1℃ | |
爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 220mm | |
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 80mm | |
加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國(guó)產(chǎn)電阻絲 | |
額定功率 | 3KW | |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） | |
射頻電源 | 射頻功：5-500W；射頻頻：13.56MHz；匹配方式：自動(dòng)匹配 | |
真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵（可定制擴(kuò)散泵 分子泵等） | |
外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
1
環(huán)保在線