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等離子清洗機可有效去除物體表面有機污染物和氧化物。等離子清洗設備可以處理各種各樣的材質(zhì)，無論是金屬、半導體、氧化物，還是高分子材料都可以使用等離子體清洗機來處理。

等離子清洗機是干式低溫的處理設備，特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體、局部或復雜結構進行部分清洗；主要特點：任何濕洗法清洗，表面都會有殘留，只有低溫等離子體清洗機表面處理才能做到*的凈化，得到超高潔凈度的表面，且低溫等離子體只對材料納米級的表面起作用，不會改變材料原有的特性，在對表面潔凈度要求較高的工藝中，正在取代濕法處理工藝而得到廣泛使用。

等離子清洗機的處理機理：主要是依靠等離子體中活性粒子的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。氣體被激發(fā)為等離子態(tài)；重粒子撞擊固體表面；電子與活性基團與固體表面發(fā)生反應解析為新的氣相物質(zhì)而脫離表面。