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等離子去膠機(jī)(灰化機(jī))

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更新時(shí)間：2022-08-01 11:30:05瀏覽次數(shù)：390次

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廣東金徠科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

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所在地區(qū)：廣東東莞市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用范圍：? · 去除光刻膠 · 晶圓打膠 · 濕法刻蝕前的晶圓清潔 · 去除 SU-8 · 清潔和表面活化 · 化學(xué)微量分析中的低溫材料灰化 · 過(guò)濾器和濾膜的清潔 · 環(huán)氧樹脂去除

詳細(xì)介紹

等離子去膠機(jī)是深圳金徠針對(duì)小體積產(chǎn)品，小批量生產(chǎn)和實(shí)驗(yàn)室晶圓處理設(shè)計(jì)，適用于晶圓級(jí)和3D封裝應(yīng)用的理想設(shè)備。等離子應(yīng)用包括預(yù)處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機(jī)污染去除等。

產(chǎn)品規(guī)格

型號(hào)	JL-RR05	JL-RR10	JL-RR15
高頻輸出功率	500W	500W	1000W
頻率	13.56MHz	13.56MHz	13.56MHz
檢測(cè)功能	氣壓檢測(cè)、門檢測(cè)	氣壓檢測(cè)、門檢測(cè)	氣壓檢測(cè)、門檢測(cè)
真空泵	干式真空泵	干式真空泵	干式真空泵
氣體控制	高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM)	高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM)	高精度質(zhì)量流量計(jì)(MFM)
質(zhì)量流量計(jì)精度	+/-0.2% F.S	+/-0.2% F.S	+/-0.2% F.S
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
反應(yīng)腔	石英 D160× 220 mm	石英 D240× 260 mm	石英 D240× 460 mm
反應(yīng)氣體	3 路系統(tǒng)（可選）	3 路系統(tǒng)（可選）	3 路系統(tǒng)（可選）
氣體流量	0~300SCCM	0~300SCCM	0~500SCCM
外形尺寸	438× 520× 760mm	438× 520× 760mm	650× 650× 650mm
重量	約 60kg	約 60kg	約 70kg
輸入電源	單相 220V， 50/60Hz 8A	單相 220V， 50/60Hz 8A	單相 220V， 50/60Hz 8A