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| 參 考 價(jià): | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
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廠商性質(zhì)其他
所在地
更新時(shí)間：2021-06-29 16:33:50瀏覽次數(shù)：1000次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介：
EVG 620NT是一款通用性和可靠性*的光刻機(jī)，提供*的掩膜對準(zhǔn)技術(shù)。可選擇半自動(dòng)或全自動(dòng)配置，滿足大批量生產(chǎn)和Fab標(biāo)準(zhǔn)。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持6英寸（150mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理，可快速轉(zhuǎn)換多尺寸晶圓
·全自動(dòng)頂部及底部對準(zhǔn)：
頂部對準(zhǔn)精度≤±0.5μm
底部對準(zhǔn)精度≤±1μm
紅外對準(zhǔn)精度≤±2μm（取決于襯底材料）
·支持汞燈或的UV-LED光源
·支持半自動(dòng)原位升級(jí)為全自動(dòng)
·可選配功能：
鍵合對準(zhǔn)
紅外對準(zhǔn)
納米壓印光刻（NIL）
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