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更新時(shí)間：2024-04-27 07:20:29瀏覽次數(shù)：198次
聯(lián)系我時(shí)，請告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介：
EVG IQ Aligner NT是IQ Aligner光刻工藝平臺(tái)的升級款，在對準(zhǔn)精度、處理速度上都有較大提升，適用于大型生產(chǎn)線。
主要特點(diǎn)及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·支持易碎、薄片及翹曲晶圓的處理。
·全自動(dòng)頂部及底部對準(zhǔn)：
頂部對準(zhǔn)精度≤±0.25μm
底部對準(zhǔn)精度≤±0.5μm
·支持Casettes, SMIF或FOUP上料
·可選配功能：
紅外對準(zhǔn)（透射或反射）
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