產品簡介：
EVG GEMINI FB是一款全自動具備高精度對準和熔融鍵合的工藝平臺，實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化，主要應用于存儲器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領域的大型量產。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·最多配置6個預處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對準驗證模塊、解鍵合模塊等。
·采用SmartView NT3對準技術，對準精度＜50nm
暫無信息 |
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| 參 考 價: | 面議 |
產品簡介：
EVG GEMINI FB是一款全自動具備高精度對準和熔融鍵合的工藝平臺，實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化，主要應用于存儲器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領域的大型量產。
主要特點及參數(shù)：
·支持12英寸（300mm）晶圓
·最多配置6個預處理模塊，例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對準驗證模塊、解鍵合模塊等。
·采用SmartView NT3對準技術，對準精度＜50nm
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