簡單介紹
INFICON的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 代表封裝在堅固耐用小型管殼內(nèi)的*的Pirani技術(shù)。溫度補償保障了快速與穩(wěn)定的真空測量結(jié)果，并消除了對大氣壓強反應慢的問題. 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統(tǒng), 以及常規(guī)用途如前級真空管道中.
特點：
■ 占空間小
■ 任何方位安裝
■ 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
■ 化的溫度補償
■ 易于集成的對數(shù)訊號輸出
■ 至10巴壓力的高過壓能力，用螺紋連接件
■ 烘烤型在法蘭處可達到250 °C
■ 易于更換的傳感單元
應用：
■ 控制高真空電離真空計
■ 前級真空壓強監(jiān)測
■ 真空系統(tǒng)中的安全電路
■ 在中真空和粗真空范圍內(nèi)的一般真空測量與控制
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