特色
Load Lock Chamber樣品預載腔體
鋼中擴散氫的低溫TDS測量
定量脫附的氣體
高周波加熱式熱脫附質(zhì)譜儀IH-TDS1700是在超高真空中通過電磁感應加熱樣品，以四極質(zhì)譜儀（QMS）實時觀察從樣品中熱脫附(熱吸解)氣體分子。樣品在超高真空，背景低環(huán)境下，大幅抑制大氣和產(chǎn)生的氣體引起的副反應的影響，大幅提測量高靈敏度，在理想條件下觀察從樣品中脫附的分子。加熱效率高的金屬樣品可加熱到1700°C以上。此外，還可以對鋼中的擴散氫進行低溫TDS測量，這是鋼材氫脆的一個因素。
Load Lock Chamber樣品預載腔體是實現(xiàn)高靈敏度、高效率(高通量)測量的關(guān)鍵技術(shù)。我們的傳送腔體和樣品轉(zhuǎn)移機制，可以在超高真空下僅將樣品快速插入分析室。如果沒有預載腔體，則每次更換樣品時都必須將分析室暴露在大氣之下。分析室暴露于大氣之下會吸入大量空氣(主要是水)，需要長時間抽真空才能恢復到合適的真空度。
IH-TDS1700可測量冷卻的鋼樣品，在低溫下擴散氫而不會逸出，因此可以高精度量測氫擴散系數(shù)大的BCC鋼。霜粘附在冷卻的鋼樣品上時，霜的脫附會影響氫信號，導致擴散氫量出現(xiàn)誤差（增加不確定性）。IH-TDS1700 的冷卻阱（選件）通過捕獲霜來限度地減少霜的影響，從而可以獲得失真很小的擴散氫解吸光譜。
數(shù)據(jù)處理軟件可以對脫附氣體進行定量分析，需要定期校準質(zhì)譜儀的靈敏度。一般使用標準漏孔進行靈敏度校準需要準備與氣體類型相同的昂貴標準品，并且校準過程需要花費大量時間。此外，當使用標準泄漏有毒氣體時，安全衛(wèi)生控制也更加嚴格。與標準泄漏校準方法相比，ESCO當前的離子電流量化程序可以快速、簡單、安全地量化逸出氣體。通過定期測量ESCO的 NIST可追溯氫標準樣品，即可以獲得高精度的結(jié)果。即使對氫氣以外的氣體也能進行靈敏度校正，并且已證實與AIST國家標準的標準泄漏校正的定量結(jié)果非常吻合。
| 項目 | 規(guī)格 |
| 真空壓力 | 主腔體1×10-7 |
| 樣品尺寸 | 20mm 直徑 x 40mm 長度 |
| 溫度范圍 | 低溫模式：-50 至正常 800°C， 1000°C 高溫模式：RT 至 1700°C 或更高 |
| 升溫速率 | 1-180℃/min |
| 偵測器 | QMS |
| 感度Ar | 1*1011 Ar/s (S/N=3) |
| 軟件 | TDS measurement, Data Viewer, Quick CSV |
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