一、剖面拋光儀的特點(diǎn):
1、平面樣品:0~?25mm。2、配備專用截面樣品臺(tái)。
3、專用擋板
4、制備單個(gè)樣品可實(shí)現(xiàn)不同能量自動(dòng)調(diào)整
5、數(shù)字化自動(dòng)控制系統(tǒng)
二、技術(shù)參數(shù):
1、真空度:極限真空度5*10-3Pa (不通氬氣)
2、*高壓:(1)200~10000V
3、樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)。
4、具有自保護(hù)功能。
5、雙離子槍可獨(dú)立控制
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