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1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV 實驗室臭氧發(fā)生機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

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更新時間:2022-11-05 09:38:53瀏覽次數(shù):312次

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產(chǎn)品詳細介紹:  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)

  產(chǎn)品詳細介紹:

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),其真空度可達到 10-2 torr.

  技術(shù)參數(shù):

 

高溫爐殼體

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃

· 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

     2.5 KW

電壓

 AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命)

工作溫度

   1200℃

連續(xù)工作溫度

  1100℃

升溫速率

  ≤20 ℃

爐管材質(zhì)和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區(qū)長度

400 mm

控溫系統(tǒng)

PID30段程序化控溫  

控溫精度

 +/- 1 ℃

真空密封系統(tǒng)

 

兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),漏氣率6 mtorr/min

 


真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。

防腐型真空計


可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

 

混氣系統(tǒng)

 

· 三個浮子流量計

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 內(nèi)部安裝有一混氣罐 

尺寸

· 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm

· 混氣系統(tǒng)尺寸: 600x600x597 mm

凈重

· 約60kg

開門斷電

· 為保證使用安全,該電爐為開門斷電設(shè)計

     

運輸重量

·     200

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

·   CE Certificate 

 

使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

 

1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F

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