亞微米3D 觀察/ 測量

觀察納米范圍的臺階，并可測量亞微米級別的高度差。

合規(guī)表面粗糙度測量

可測量從線到面的表面粗糙度。

非接觸，無損，并且快捷

無需制備樣品 - 只需將樣品放在載物臺上即可測量。

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和好的分辨率圖像。

[ 獲取彩色信息]

彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。

[ 獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。

405納米激光光源

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡

具有好的橫向分辨率。OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得好橫向分辨率。

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)

激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得

比普通顯微鏡對比度高的圖像。

X-Y掃描儀

OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)

合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

輸出可靠數(shù)據(jù)的技術(shù)

采用以前的物鏡，像差讓其不容易準(zhǔn)確測量周邊區(qū)域。 用LEXT 物鏡能夠準(zhǔn)確測量周邊區(qū)域。

捕捉陡峭斜面形狀

4K掃描技術(shù)

具有大角度斜面的樣品（剃刀刀片）

以前的型號 ：無法準(zhǔn)確測量陡峭斜面。 OLS5000 顯微鏡 ：可準(zhǔn)確測量接近87.5° 的大角度斜面。

自動獲取數(shù)據(jù)

智能判別功能

測量噪聲被錯誤地作為修復(fù)圖 顯示測量噪聲，一定程度地降低檢

測結(jié)果模棱兩可的風(fēng)險。

以前的型號 ：消除噪音的同時也消除了原始數(shù)據(jù)。 OLS5000 顯微鏡 ：自動檢測數(shù)據(jù)和噪音，從而實現(xiàn)準(zhǔn)確的形狀測量。

快速獲得可靠數(shù)據(jù)

該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，從而實現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。

使用簡便 - 只需放好樣品按下按鈕即可

LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 生疏的用戶也可以獲得可靠的檢測結(jié)

果。

便捷分析

測量區(qū)域。

分析和報告已經(jīng)完成。

減少重復(fù)測量的差異

創(chuàng)建報告

當(dāng)這些步驟被設(shè)定為默認(rèn)模板時，

下次將自動執(zhí)行生成報告的所有步

驟。

低功率輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對其進行測量。擴展架可容納接近210毫米的樣品，而

長工作距離物鏡能夠測量深度接近25毫米的坑。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。

可測量高210毫米的樣品：適應(yīng)各類樣品

提供可靠數(shù)據(jù)

檢測細微紋理和缺陷

好的橫向分辨率

405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡無法發(fā)現(xiàn)的精細紋理和缺陷。

奧林巴斯掃描技術(shù)

MEMS掃描振鏡

奧林巴斯 MEMS 掃描振鏡能夠?qū)崿F(xiàn)較低掃描軌跡失真和小光學(xué)像差的X-Y 掃描。有些激光顯微鏡無法避免視場周邊區(qū)域測量值的波動，但是 OLS5000

顯微鏡不論是測量視場中心還是邊緣，均可獲得一致的結(jié)果。

檢測陡峭斜面和近納米級臺階的形貌

4K 掃描技術(shù)

4K 掃描技術(shù)可在 X 軸方向掃描 4096 像素，是傳統(tǒng)機型的四倍。由此提高了高度測量的可靠性，改善了分辨率，信噪比提升了兩倍。OLS5000 顯微

鏡無需圖像處理就能檢測接近垂直的陡峭斜面和低的臺階。

PEAK 算法

OLS5000 顯微鏡采用了用于 3D 數(shù)據(jù)構(gòu)建的 PEAK 算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采

集時間。

自動選擇數(shù)據(jù)采集的適合通道

雙共焦系統(tǒng)

雙共焦系統(tǒng)由采用不同孔徑的兩個共焦光學(xué)通道組成。根據(jù)鏡頭類型和數(shù)據(jù)采集模式選擇適合通道，實現(xiàn)可靠數(shù)據(jù)的快速采

集。

積極的可追溯性

為確保高質(zhì)量的產(chǎn)品性能，OLS5000顯微鏡從物鏡到激光頭的每個組件均采用嚴(yán)謹(jǐn)?shù)纳a(chǎn)系統(tǒng)制造而成。測量結(jié)果于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)的可追溯系統(tǒng)。

在顯微鏡交付時，工程師將進行系統(tǒng)的調(diào)整和校準(zhǔn)，根據(jù)您的應(yīng)用將顯微鏡調(diào)整到好的狀態(tài)。

對您的測量結(jié)果有信心

好的準(zhǔn)確度和重復(fù)性

測量工具的性能通常用準(zhǔn)確度表示測量值與其真實值的接近程度，用重復(fù)性表示重復(fù)測量值的變化程度。奧林巴斯以基于可追溯系統(tǒng)的顯微鏡準(zhǔn)

確度和可重復(fù)性，從而讓您對測量結(jié)果有信心。