用途一覽表
| 待測(cè)藥液 | 適用藥液類別 |
|---|---|
| 各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA, 稀薄SC-2 |
| 浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH HF-HNO-Si,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
| CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
| 液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH, 銅-H2O2-酸 |
| 高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
| 有機(jī)剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
| 臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
類別一覽表
| 利用形式 | 適用產(chǎn)品名稱 |
|---|---|
| 聯(lián)機(jī)型 | ChemicAlyzer ACEⅡ （超高性能型） ChemicAlyzer Pro-2?。?biāo)準(zhǔn)型） |
| 脫機(jī)手推車型 | ChemicAlyzerⅡ |
| 多槽測(cè)定控制型 | ChemicAlyzer WORKS |
| 混合型 | ChemicAlyzer HB-20-A |
基本規(guī)格
| 項(xiàng)目 | ＡＣＥⅡ | Pro-2 | ChemicAlyzerⅡ | WORKS | HB-20 |
|---|---|---|---|---|---|
| 基本構(gòu)成 | 測(cè)定部分? 數(shù)據(jù)處理部分 | 一體型 | 測(cè)定部? 平板電腦架 | 測(cè)定部? 數(shù)據(jù)處理部分 | |
| 顯示 | 7波段顯示器 | LCD | 7波段顯示器 | ||
| 按鍵操作 | 有 | 觸控面板 | 有 | ||
| 外部輸入輸出 | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | 選項(xiàng) | PI/O、串行輸出、模擬輸出 | ||
| 特點(diǎn) | 高性能 | 標(biāo)準(zhǔn)性能 | 多條檢量線 | 多槽測(cè)定控制 | 混合型高性能 |
| 其他 | 內(nèi)置閥門 | 內(nèi)置泵和閥門 | 內(nèi)置泵和閥門 | 內(nèi)置閥門 | |
Chemicalyzer系列根據(jù)利用場(chǎng)景和待測(cè)藥液，匯集了豐富齊全的產(chǎn)品種類
聯(lián)機(jī)型
可以對(duì)制造半導(dǎo)體和液晶電視中經(jīng)常使用的清洗液和浸蝕液進(jìn)行高精度高速測(cè)定。
ChemicAlyzer ACEII （超高性能型）增添了很多新技術(shù)，與本公司以往的機(jī)型相比，精度更上一層樓。*適合用于要求更高上等測(cè)定精度的場(chǎng)合。 |
ChemicAlyzer Pro-2?。?biāo)準(zhǔn)型）雖然采用了數(shù)據(jù)處理部分與測(cè)定部分合為一體的小型化設(shè)計(jì)，但是也具有鍵盤和顯示功能。 |
| 待測(cè)藥液 | 適用藥液類別 |
|---|---|
| 各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
| 浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
| CMP液 | CMP中H2O2,CMT中BTA |
| 液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
脫機(jī)手推車型
ChemicAlyzerII*適合于由脫機(jī)測(cè)定各種處理工序的藥液濃度變化的場(chǎng)合。除了心臟部分的Chemicalyzer之外，還內(nèi)置了泵、閥門，因此，可以只需將管子插入槽內(nèi)即可測(cè)定。此外，1臺(tái)設(shè)備還可以測(cè)定多種藥液。 |
| 待測(cè)藥液 | 適用藥液類別 |
|---|---|
| 各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
| 浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
| 液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
| 高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
多槽測(cè)定控制型
ChemicAlyzer WORKS 1臺(tái)設(shè)備可以連續(xù)、間歇地測(cè)定多個(gè)槽里的藥液濃度。 |
| 待測(cè)藥液 | 適用藥液類別 |
|---|---|
| 各種清洗液 | SC-1,SC-2,SPM,IPA |
| 浸蝕液 | HF,H3PO4,BHF,HF-HNO3, HF-HNO3-CH3COOH |
| 有機(jī)剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
| 液晶浸蝕液 | H3PO4-HNO3-CH3COOH |
| 高濃度堿液 | NaOH,KOH,KOH-活性劑 |
混合型
ChemicAlyzer HB-20-A 可以用1臺(tái)設(shè)備進(jìn)行紅外光加可見(jiàn)光、紅外光加紫外光的組合測(cè)定。 |
| 待測(cè)藥液 | 適用藥液類別 |
|---|---|
| 各種清洗液 | 希薄SC-2 |
| 浸蝕液 | HF-HNO-Si,,HF-HNO3-CH3COOH-Si |
| 液晶浸蝕液 | 銅-H2O2-酸 |
| 有機(jī)剝離液 | MEA-BDG-水分-抗蝕劑 |
| 臭氧處理液 | HF-臭氧,H2SO4-臭氧 |
環(huán)保在線