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中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機/旋涂儀200-600mm

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號KWD

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間：2022-12-22 16:04:23瀏覽次數(shù)：312次

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產(chǎn)品簡介

中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機/旋涂儀200-600mm

詳細(xì)介紹

        中科院微電子研究所KWD大型臺式勻膠機/旋涂儀200-600mm

       > 參數(shù)：手動旋鈕控制 
        > 基片尺寸φ200-φ600mm圓片、500x500mm2方片 
        > 轉(zhuǎn)速：200-2000轉(zhuǎn)/分 
        > 顯示轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度：±1，膠的均勻性±5% 
        > 勻膠階段：2段 
        > 勻膠時間：3-60s可調(diào) 
        > 電機功率：320W 
        > 儀器尺寸：980mmx855mmx855mm 
        > 適用材料：硅片、玻璃、石英、金屬GaAs、GaN、InP等多種材料

關(guān)鍵詞：臺式勻膠機
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