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激光干涉儀VeriFire

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更新時(shí)間：2022-08-26 09:50:25瀏覽次數(shù)：312次

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激光干涉儀VeriFire

詳細(xì)介紹

　　菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除

　　抑制技術(shù)，是一種高精度、共光路面形計(jì)量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的一切優(yōu)點(diǎn)，交融了機(jī)械相移技能、革命性的數(shù)據(jù)收集技能、高性能的光電成像系統(tǒng)、振蕩補(bǔ)償軟件、非球面測(cè)量技能和波紋抑制技能等，是ZYGO技術(shù)的集中體現(xiàn)。Zygo新推出用于在震動(dòng)環(huán)境下測(cè)量的DynaFiz干涉儀。

　　測(cè)長(zhǎng)儀系統(tǒng):

　　◆測(cè)量功用：精細(xì)測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精細(xì)測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前

　　◆測(cè)量技能：機(jī)械相移干涉測(cè)量（PSI）

　　◆校準(zhǔn)系統(tǒng)：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)(雙光點(diǎn)定位于十字線)

　　◆測(cè)量光束直徑：4″（102mm）或6″（152mm）

　　◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)規(guī)模FOV：4″：±3°；6″：±2°；

　　◆光學(xué)中心線：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III

　　◆波長(zhǎng)：633 nm

　　◆頻率穩(wěn)定度：<0.0001 nm

　　◆相干長(zhǎng)度：＞100m

　　◆成像分辨率：1000 x 1000像素