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奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100

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產(chǎn)品型號LEXT OLS4100

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更新時間:2022-12-30 16:22:40瀏覽次數(shù):481次

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產(chǎn)品簡介

江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100的方案介紹:奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXTOLS4100是一款激光掃描顯微鏡,通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量

詳細介紹

江南儀器為您提供奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100的方案介紹:
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡,通過非接觸的方式進行樣品表面三維形貌觀察和測量。分辨率達10nm,可以方便快捷地獲取影像,同時配備豐富的測量功能。
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學系統(tǒng)(能限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。這有利于粗糙度的測量。
由于采用405 nm 的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡,OLS4100 達到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結合高精度的0.8 nm 的光柵讀取能力和軟件算法,例如奧林巴斯開創(chuàng)的I-Z 曲線(請參閱第23 頁),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。
OLS4100 采用了雙共焦系統(tǒng),結合高靈敏度的探測器,那些具有不同反射率材料的樣品,也能在OLS4100 上獲得鮮明的影像。
適用于透明層
多層模式 
LEXT OLS4100 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區(qū)域,并將各層設為焦點,這樣即可實現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量,而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。 
觀察/測量透明材料的各個層 
多層模式可實現(xiàn)對透明樣品的頂部的透明層進行觀察和測量。即使在玻璃基片上覆有一層透明樹脂層,也可測量出各層的形狀和粗糙度以及表面覆膜的厚度。
 
LEXT 專用物鏡
奧林巴斯激光共聚焦顯微鏡LEXT OLS4100技術規(guī)格:
主機
LSM 部分 光源、檢出系統(tǒng) 光源:405 nm 半導體激光 
檢出系統(tǒng):光電倍增管
總倍率 108x ~ 17,280x
變焦 光學變焦1x ~ 8x
測量 平面測量 重復性 00x: 3σn-1=0.02 µm
正確性 測量值的±2%以內(nèi)
高度測量 方式 物鏡轉換器上下驅(qū)動方式
行程 10 mm
內(nèi)置比例尺 0.8 nm 
移動分辨率 10 nm
顯示分辨率 1 nm 
重復性 50x: σn-1=0.012 μm
正確性 0.2 + L/100 μm 以下(L=測量長度μm)
彩色觀察部分 光源、檢查系統(tǒng) 光源:白色LED, 
檢查系統(tǒng):1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD
變焦 數(shù)碼變焦1x ~ 8x
物鏡轉換器 6 孔電動物鏡轉換器
微分干涉單元 微分干涉滑片:U-DICR, 
內(nèi)置偏振光片單元
物鏡 明視場平面半消色差透鏡5x、10x 
LEXT 專用平面復消色差透鏡20x、50x、100x
Z 對焦部分行程 100 mm 
XY 載物臺 100×100 mm(電動載物臺), 
選件: 300×300 mm(電動載物臺)

此設備為專為在工業(yè)環(huán)境下實施檢測設計的A 類設備。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會干擾其他設備。

物鏡
型號 倍率 視場 工作距離(WD) 數(shù)值孔徑(N/A)
MPLFLN5X 108x-864x 2,560-320 μm 20.0 mm 0.15
MPLFLN10X 216x-1,728x 1,280-160 μm 11.0 mm 0.30
MPLAPON20XLEXT 432x-3,456x 640-80 μm 1.0 mm 0.60
MPLAPON50XLEXT 1,080x-8,640x 256-32 μm 0.35 mm 0.95
MPLAPON100XLEXT 2,160x-17,280x 128-16 μm 0.35 mm 0.95

高度測量

可以測量輪廓截面上任意兩點之間的高低差異。 
輪廓測量也同樣可用

表面粗糙度測量

可以測量線粗糙度,以及平面整體的面粗糙度。

 

 

面積/體積測量

根據(jù)設置在輪廓截面上的任意閾值,可以測量其上部或下部的體積。

粒子測量 (選購件)

可以通過分離功能使粒子自動分離,設置閾值,根據(jù)ROI 設置檢測范圍。

 

 

幾何測量

可以測量影像上任意兩點之間的距離。還可以測量任意區(qū)域的面積。

膜厚測量 (選購件)

可以根據(jù)測出的對焦位置,測量透明介質(zhì)的膜厚。

 

 

自動尋邊測量 (選購件)

可以自動尋邊,測量線寬和圓,減少人為的測量誤差。

 


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