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深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司


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FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時(shí)間:2022-08-27 11:24:23瀏覽次數(shù):303次

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FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用橡膠密封材質(zhì),適用于常規(guī)無(wú)腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高精度、高速應(yīng)答、重復(fù)性好等特點(diǎn),具有很高的性價(jià)比。市場(chǎng)價(jià): 0.00價(jià)格:0.00型號(hào): ......

詳細(xì)介紹

FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器采用橡膠密封材質(zhì),適用于常規(guī)無(wú)腐蝕性氣體范圍、產(chǎn)品具有高精度、高速應(yīng)答、重復(fù)性好等特點(diǎn),具有很高的性價(jià)比。

FC-R7700CD質(zhì)量流量控制器廣泛使用在半導(dǎo)體液晶產(chǎn)業(yè)用真空裝置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置工業(yè)鍍膜實(shí)驗(yàn)室儀器大氣環(huán)境監(jiān)測(cè)等行業(yè),在CVD、PVD、離子擴(kuò)散、濺射、燃燒、光纖鍍膜、表面處理和其他鍍膜工藝中有大量使用先例并。


技術(shù)特點(diǎn):

低成本
FC-R7700CD
質(zhì)量流量控制器針對(duì)非腐蝕性氣體和泄漏率要求不高的場(chǎng)合、保證了產(chǎn)品高性能同時(shí),具有很好性價(jià)比。
替換方便
FC-R7700CD
質(zhì)量流量控制器采用業(yè)界通用的通信方式,很容易對(duì)其他廠家的產(chǎn)品進(jìn)行替換,從而實(shí)現(xiàn)提高性能和穩(wěn)定性的目的。
高信賴和可靠性
FC-R7700CD
質(zhì)量流量控制器優(yōu)秀的統(tǒng)性前世上有大約在行中的產(chǎn)品其年目界4萬(wàn)只運(yùn)中的產(chǎn)品,其一年內(nèi)的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽(yù)

技術(shù)參數(shù):

性能指標(biāo)

FC-R7700CD/FC-R7700D系列

FC-R7710CD/FC-R7710D系列

FC-R7720CD/FC-R7720D系列

滿量程范圍

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

響應(yīng)時(shí)間

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于2

滿流量的±2%范圍內(nèi),小于3

精度

≤±1%滿量程

≤±2%滿量程

線性鍍

滿量程±0 5%

滿量程±0 5% 1

滿量程±1%

重復(fù)性

滿量程±0.2%

泄漏率

1X10E-7 Pa.m 3/sec

控制范圍

滿流量的2%-5% #2

壓差

49Kpa-275Kpa

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

正常工作壓

490Kpa

進(jìn)氣壓力

980Kpa

溫度范圍

5-45(41-113)

輸入電源

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

輸入信號(hào)

0-5 VDC

輸出型號(hào)

0-5 VDC

控制閥形式

常開(kāi)或常閉電磁閥

密封件

氟橡膠

材質(zhì)

316L,316PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

標(biāo)準(zhǔn)接口

1/4"VCRSwagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

1滿量程流量值大于30SLM線性度滿量程±1%

2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-99%

3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為195-296Kpa


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