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離子減薄儀制備儀

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更新時間：2022-09-08 13:59:29瀏覽次數(shù)：363次

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試驗(yàn)箱及氣候環(huán)境設(shè)備

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產(chǎn)品簡介

離子減薄儀制備儀型號:SZ41-Gatan695.B庫號：M4036201.工作條件1.1電力供應(yīng)：220V（10%），50Hz，1φ;380V（10%），50Hz，3φ1.2工作溫度：15℃-25℃1.3工作濕度：2.技術(shù)要求*2.1離子槍：潘寧式離子槍，裝載永磁鐵，聚焦離子束設(shè)計，無耗件

詳細(xì)介紹

離子減薄儀制備儀 型號:SZ41-Gatan 695.B庫號：M403620
1. 工作條件
1.1 電力供應(yīng)：220V（10%），50Hz，1φ; 380V（10%），50Hz，3φ
1.2 工作溫度：15℃-25℃
1.3 工作濕度：< 60%
2. 技術(shù)要求
*2.1 離子槍：潘寧式離子槍，裝載永磁鐵，聚焦離子束設(shè)計，無耗件。
*2.2減薄角度：+10°到-10°，每只離子槍可獨(dú)立調(diào)節(jié)。
2.3 樣品臺旋轉(zhuǎn)：樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速1~6 rpm可調(diào)。
2.4 樣品臺移動范圍：載臺可以實(shí)現(xiàn)X和Y方向的移動，移動范圍：+/- 0.5mm。
*2.5離子槍束能量：0.1keV~8keV?？稍诓煌妷合伦詣觾?yōu)化離子束束流。電流密度可達(dá)10mA/cm2.
2.6 離子束調(diào)制：可以進(jìn)行角度選擇性區(qū)域離子減薄減薄
2.7樣品更換：快速樣品更換時間<1min，無需破減薄室真空
*2.8樣品臺：DouPost樣品臺以及裝樣器，方便快速更換樣品以及實(shí)現(xiàn)雙面減薄。
2.9 真空系統(tǒng)：無油機(jī)械泵+80L/S抽氣速度分子泵系統(tǒng)。
2.10 所需氣體：氬氣，操作壓力25psi，無需水冷
*2.11 控制部分：10英寸觸摸屏控制，菜單化操作，并支持減薄程序的設(shè)定和儲存。

備注：其中，帶*的指標(biāo)為重要的必須滿足的技術(shù)指標(biāo)

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