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機(jī)床誤差修正激光干涉儀維護(hù)

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產(chǎn)品型號(hào)SJ6000

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更新時(shí)間：2023-04-16 14:36:49瀏覽次數(shù)：588次

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  激光干涉儀

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深圳市中圖儀器股份有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)、機(jī)床誤差修正是目前的高效、高精度的檢測(cè)方法

詳細(xì)介紹

采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測(cè)、機(jī)床誤差修正是目前的高效、高精度的檢測(cè)方法。如何利用激光干涉儀進(jìn)行機(jī)床定位精度檢測(cè)和補(bǔ)償進(jìn)行機(jī)床修正？

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出的超精密SJ6000機(jī)床激光干涉儀，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，如可以測(cè)量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有的精度和效率，而且及時(shí)處理數(shù)據(jù)，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)

位置精度測(cè)量分為反向間隙測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和定位精度測(cè)量，又稱之為線性測(cè)量。SJ6000機(jī)床激光干涉儀標(biāo)配的線性鏡組，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償，一次測(cè)量即可得出上述三種誤差。

依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)

SJ6000機(jī)床激光干涉儀全套系統(tǒng)

線性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有【基于位置的目標(biāo)采集】和【基于時(shí)間的目標(biāo)采集】?jī)煞N方式，普遍使用基于位置的目標(biāo)采集方式：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)置若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)測(cè)長(zhǎng)機(jī)的測(cè)頭移動(dòng)到設(shè)置的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000機(jī)床激光干涉儀進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。測(cè)量結(jié)果將會(huì)自動(dòng)生成分析曲線，即可得到導(dǎo)軌的運(yùn)行軌跡。

機(jī)床誤差修正激光干涉儀維護(hù)

數(shù)控機(jī)床精度校準(zhǔn)

測(cè)量機(jī)床回轉(zhuǎn)軸精度

測(cè)量機(jī)床偏擺角度

測(cè)量機(jī)床直線度

測(cè)量機(jī)床定位精度

中圖儀器是一家企業(yè)，經(jīng)過(guò)十多年在幾何量測(cè)量領(lǐng)域的潛心研究，現(xiàn)有員工200余人，集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，在微納米運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測(cè)量三維重建、顯微測(cè)量3D形貌分析、大尺寸三維空間測(cè)量、精密傳感測(cè)頭、光柵導(dǎo)軌測(cè)控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢(shì)，具備了從納米到百米為用戶提供精密測(cè)量解決方案的能力！

關(guān)鍵詞：激光干涉儀數(shù)據(jù)采集