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激光干涉儀

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產(chǎn)品簡介

簡介激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一，是工業(yè)中具的長度測量儀器

詳細(xì)介紹

簡介
激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中成功的應(yīng)用之一，是工業(yè)中具的長度測量儀器。它可用于精密機(jī)床、大規(guī)模集成電路加工設(shè)備等的在線在位測量、誤差修正和控制。激光干涉儀采用外差干涉測量原理，克服了普通單頻干涉儀測量信號(hào)直流漂移的問題，具有信號(hào)噪聲小、抗環(huán)境干擾、允許光源多通道復(fù)用等諸多優(yōu)點(diǎn)，使得干涉測長技術(shù)能真正用于實(shí)際生產(chǎn)。

工作原理
1、激光從激光干涉儀出來在分光鏡處分為兩束，一束為參考光由固定角錐反射鏡反射，另一束為測量光由移動(dòng)反射鏡反射，并與參考光合束，產(chǎn)生干涉；
2、通過干涉環(huán)的增減來判斷移動(dòng)的角錐反射鏡移動(dòng)的距離。

產(chǎn)品功能
中圖SJ6000激光干涉儀可以對(duì)機(jī)床進(jìn)行靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量。靜態(tài)測量可以進(jìn)行線性，角度，平面度，直線度和垂直度等測量；動(dòng)態(tài)測量可以進(jìn)行速度、加速度分析，振動(dòng)分析等。

系統(tǒng)性能
²  測量方式：單頻
²  穩(wěn)頻精度：0.05ppm
²  動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
²  預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘
²  工作溫度范圍：0~40℃
²  環(huán)境溫度范圍：0~40℃
²  存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
²  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃
²  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)
²  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

關(guān)鍵詞：激光干涉儀長度測量儀溫度傳感器傳感器壓力傳感器

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