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更新時(shí)間：2022-11-01 14:55:30瀏覽次數(shù)：414次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線真空晶體生長(zhǎng)爐主要用于碳化硅、硒化鋅等晶體的生長(zhǎng)
采用*的控制技術(shù)，能精密控制爐內(nèi)壓力，爐膛內(nèi)壓力波動(dòng)??；
采用動(dòng)密封技術(shù)，能精密控制坩堝移動(dòng)與旋轉(zhuǎn)；
采用特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能有效控制籽晶位置；
采用特殊的爐膽結(jié)構(gòu)和加熱器布置，經(jīng)溫場(chǎng)模擬計(jì)算，能有效控制爐內(nèi)溫場(chǎng)分布；
具備柔性抽真空、爐內(nèi)分壓控制等功能；
采用*的隔熱結(jié)構(gòu)和材料，爐膽隔熱性能好、蓄熱少，
采用特殊的高溫紅外測(cè)量技術(shù)，控溫準(zhǔn)確，誤差小。
| 型號(hào)/參數(shù) | VCG-4 | VCG-6 | VCG-8 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 4英寸 | 6英寸 | 8英寸 |
| 溫度（℃） | 2400-2600 | 2400-2600 | 2400-2600 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±5 | ±5 |
| 極限真空度（Pa） | 10-5-10-3 | 10-5-10-3 | 10-5-10-3 |
| 壓升率（pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
結(jié)構(gòu)形式：上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全碳鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：高純碳?xì)?石墨氈/固化氈
加熱器：等靜壓石墨/金屬
熱電偶：C/K/N/S分度號(hào)
紅外儀：?jiǎn)伪壬?雙比色
適于工藝氣氛：N2/Ar/H2
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