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愛(ài)德華edwardsSTP Maglev 真空分子渦輪泵STP-iX455 渦輪分子泵

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更新時(shí)間:2022-11-13 13:03:32瀏覽次數(shù):332次

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STPMaglev真空分子渦輪泵愛(ài)德華edwardsSTPMaglev真空分子渦輪泵STP-iX455渦輪分子泵為了實(shí)現(xiàn)始終如一的可靠性能和零維護(hù),您每次都可以依賴于Edwards的STPMaglev渦輪分子泵來(lái)實(shí)現(xiàn)

詳細(xì)介紹

STP Maglev 真空分子渦輪泵  愛(ài)德華edwardsSTP Maglev 真空分子渦輪泵STP-iX455 渦輪分子泵

為了實(shí)現(xiàn)始終如一的可靠性能 和零維護(hù),您每次都可以依賴于 Edwards 的 STP Maglev 渦輪分子泵 來(lái)實(shí)現(xiàn)。

我們的套 STP Maglev 渦輪分子泵于 1983 年售出,現(xiàn)在已經(jīng)在世界各地 安裝了 130,000 多套。其中的 85% 都運(yùn)行于半導(dǎo)體制程工具中, 表現(xiàn)出了的性能級(jí)別和可靠性。  

對(duì)于需要長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行、無(wú)碳?xì)?化合物泵送、維護(hù)量少和低振動(dòng)的應(yīng)用, STP Maglev 渦輪分子泵是泵。轉(zhuǎn)子通過(guò)磁力軸承實(shí)現(xiàn) 懸浮,因此,消除了轉(zhuǎn)子與泵其余部分之間的 所有接觸。除振動(dòng)極低之外,消除接觸 還意味著轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí) 不會(huì)發(fā)生軸承接觸,也就無(wú)需對(duì)泵進(jìn)行后續(xù) 維護(hù)。 

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的每個(gè)設(shè)計(jì)階段均 融合了節(jié)能技術(shù),以確保降低 能耗和提升運(yùn)行效率,同時(shí)不損害 質(zhì)量和性能。

  • 提高了生產(chǎn)效率:
    更快抽空到基準(zhǔn)壓力

  • 體積緊湊: 
    節(jié)省空間并且易于安裝

  • 低擁有 成本:
    低功耗和水電消耗

  • 免維護(hù): 
    經(jīng)濟(jì) 

應(yīng)用
產(chǎn)品系列
STP 控制器

概述

STP-iX455 渦輪分子泵具有創(chuàng)新性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動(dòng)降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。

此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)用。

Edwards-STP-iX455-Turbo-Top_PT640Z060.jpg


應(yīng)用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)

  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕

  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

  • 濺射

  • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站

  • MBE

  • 擴(kuò)散

  • 光致抗蝕劑脫模

  • 晶體/晶膜生長(zhǎng)

  • 晶片檢查

  • 負(fù)載鎖真空腔

  • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡

  • 高能物理:射束線、加速器

  • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

STP-iX455 渦輪分子泵 ISO100K

PT640Z010

STP-iX455 渦輪分子泵 ISO160K

PT640Z020

STP-iX455 渦輪分子泵 DN100CF

PT640Z050

STP-iX455 渦輪分子泵 DN160CF

PT640Z060

功能和優(yōu)勢(shì)


  • 緊湊型設(shè)計(jì),包括集成的控制器

  • 創(chuàng)新性自傳感軸承系統(tǒng)

  • 數(shù)字化 5 軸控制

  • 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動(dòng)級(jí)別降低了 50%

  • 可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程

  • 自動(dòng)平衡系統(tǒng) (ABS) 標(biāo)準(zhǔn)

  • 自動(dòng)減振 (AVR) 標(biāo)準(zhǔn)

  • 列于 UL 中,具有 CE 標(biāo)記,符合 SEMI® S2

技術(shù)數(shù)據(jù)


入口法蘭ISO100K
抽速
N2300 ls-1
H2300 ls-1
壓縮比
N2>108
H2>1 x 104
極限壓力6.5 x 10-6 Pa
Z大工作壓力1.3 x 10-1 Pa
允許的前級(jí)壓力67 Pa
額定速度55000 rpm
啟動(dòng)時(shí)間<6 分鐘
固定位置任何方向
冷卻方法自然冷卻(加熱和氣體泵送時(shí)進(jìn)行水冷卻或空氣冷卻)
潤(rùn)滑油不需要
前級(jí)泵240 lmin-1
泄露磁通量
軸向方向<100 m/Gauss
徑向方向<100 m/Gauss
環(huán)境溫度范圍0 至 40 °C
存儲(chǔ)溫度范圍-25 至 55 °C
重量15 kg


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