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更新時(shí)間：2023-05-23 07:47:13瀏覽次數(shù)：534次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線iGX干泵真空系統(tǒng)愛德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iGX1000N干式泵iGX干式真空泵系列為大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn)；這使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù)的300mm工廠中安裝了20,000套以上
iGX 干式真空泵系列為 大修之間零維護(hù)現(xiàn)代干泵樹立了新標(biāo)準(zhǔn)；這 使其成為了世界上Z受歡迎的干泵之一，目前已在大多數(shù) 的 300mm 工廠中安裝了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太網(wǎng)連接，允許通過網(wǎng)頁查看 主要數(shù)據(jù)，同時(shí)包括一套全面的網(wǎng)絡(luò)選項(xiàng)， 可確保泵持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
iGX 泵的峰值速度范圍 很寬，并可以改變以適合各種應(yīng)用條件，包括從清潔 到中等負(fù)載制程。模塊化設(shè)計(jì)允許用戶對(duì) iGX 干泵 進(jìn)行配置以適合各個(gè)工廠的要求。緊湊的占地面積允許使用多種安裝 選項(xiàng)，包括工具上、近程和遠(yuǎn)程操作。
通過使用 iGX 干泵技術(shù)， 整個(gè)工廠通?？梢栽谠O(shè)施成本方面實(shí)現(xiàn) 40%* 的節(jié)省 （與 iL/iH 干泵相比）。
*基 于包含 200 個(gè)工具、537 臺(tái)泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水閥的 300mm 美國工廠。
低功耗和零預(yù)防性維護(hù)，可降低擁有成本
小巧輕便，可使用靈活的 安裝選項(xiàng)
高性能電機(jī)和變頻器驅(qū)動(dòng)裝置
待機(jī)模式使用環(huán)保模式，功耗 更低
高導(dǎo)熱性材料和 優(yōu)良設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)低水流量和高效冷卻 - 那又怎么樣？
精密陶瓷軸承 可確保高負(fù)載容量，因而更加可靠
低振動(dòng)和小于 55 dB(A) 的低噪聲，可以安裝在操作中同附近
PVD
電介質(zhì)刻蝕
導(dǎo)體刻蝕
金屬刻蝕
植入源
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
功能和優(yōu)勢
技術(shù)數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 800 m3h-1 |
| 471 cfm | |
| 13333 l min-1 | |
| 極限壓力 | 1.00E-03 mbar |
| 7.50E-04 Torr | |
| 0.10 Pa | |
| 700 Torr 排氣壓力下的極限 | |
| 極限 | 1.6 kW |
| AUC（有源設(shè)備控制器） | 1.05 kW |
| 水入口* | 2 slm |
| 氮 | 4 或 14 slm |
| 占地面積（不包括排氣裝置） | 0.20 m2 |
| 重量 | 230 kg |
| 進(jìn)氣口連接 | ISO100 |
| 出口連接 | NW25 |
| 極限噪音 | < 55 dB(A) |
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