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愛德華edwards渦旋干式真空泵nXDS20i

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更新時間:2023-06-04 07:49:01瀏覽次數(shù):420次

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產(chǎn)品簡介

愛德華edwards渦旋干式真空泵nXDS20inXDS干式渦旋泵EdwardsnXDS具備出色的抽排能力、的真空性能和的設計特性,性能居同類產(chǎn)品

詳細介紹

  • 愛德華edwards渦旋干式真空泵nXDS20i

  • nXDS 干式渦旋泵

    Edwards nXDS 具備出色的抽排能力、的真空性能和的設計特性,性能居同類產(chǎn)品。

    nXDS 泵在傳統(tǒng) XDS 泵的基礎上進行改進,提高了抽取速度,降低了極限壓力、功耗和噪音 - 噪音只有其他泵的二十分之一。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 泵還采用了的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能。 

    nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。其智能控制功能和長達五年的維修間隔帶來較低的擁有成本,使其成為應用于當今技術的小型干泵的。


    Standard_Body_Image_nXDS_Pump 

    • 工作環(huán)境更好,環(huán)境影響低: 
      安靜運轉

    • 操作簡單: 
      智能且易于使用控制

    • 無污染且不需要處理油: 
      采用密封結構,實現(xiàn)了無潤滑劑真空環(huán)境

    • 低擁有 成本: 
      長維修間隔和低功耗 

    • 更快的制程: 
      出色的蒸汽處理能力 

  • 應用
    主要特性和優(yōu)勢
    • 真空外殼中 不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空, 防止交叉污染

    • 無大氣壓到 真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能 以更低溫度運行,使用時間更長

    • 簡單的單側 滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合,只需Z低程度的 特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務,因此可降低運行成本, 盡可能延長正常運行時間

    • 改進了電機和 傳動效率,可降低功耗和運行成本

    • *的接口 提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn) 遠程控制/監(jiān)視

    • 一般清潔泵送

    • 電子掃描顯微鏡 (SEM)

    • 射束線和高能物理

    • 前級渦輪泵

    • 超高速離心機

概述

nXDS20i 是下一代無油的干式渦旋泵,可在各種應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。 氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了的端部密封技術,顯著延長了端部密封更換的時間間隔。 具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 可進行現(xiàn)場維修。

用途

  • 一般清潔泵送應用

  • 電子掃描顯微鏡 - SEM

  • 射束線和高能物理

  • 前級渦輪泵

  • 超高速離心機

  • 覆層

  • 低溫學

  • 脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂

  • 蒸餾/萃取/過濾

  • 冷凍干燥

  • 熔爐

  • 凝膠體干燥

  • 實驗室工作臺上真空

  • 激光、氣體回收和再循環(huán)

  • 氦檢漏儀

  • 負載鎖和傳輸腔

  • 稀有氣體再循環(huán)

  • 稀有氣體回收

  • 冷凍制造

  • 研發(fā)

  • 旋轉離心蒸發(fā)器

  • SEM/FIB(離子束維修)

  • 溶劑回收

  • 表面科學儀器

a - nXDS20i 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50/60 Hz

nXDS20i 100 - 127 V,200 - 240 V,1 相,50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢

  • 真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可保證的清潔和干燥真空,防止交叉污染

  • 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運行,使用時間更長

  • 簡單的單側滾軸布置與創(chuàng)新的電機和軸承設計相結合,只需Z低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務,因此可降低運行成本,盡可能延長正常運行時間

  • 改進了電機和傳動效率,可降低功耗和運行成本

  • *的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視

技術數(shù)據(jù)

標稱旋轉速度1800 rpm
排量28.0 m3h-1 /  16.5 ft3min-1  
峰值抽速22.0 m3h-1 /  13.0 ft3min-1  
極限真空(總壓力)0.030 mbar  /  0.022 Torr
Z小待機旋轉速度1200 rpm
速度控制精度(以全速百分比表示)1%
Z小轉速時的抽速10
Z大連續(xù)進氣口壓力50 mbar
電機功率(一相)260 W
電源連接器(1 相)IEC EN60320 C13
推薦保險絲10A,250Vac rms
重量25.6 kg  /  56 lb
入口法蘭NW25
排氣口法蘭NW25
噪音級別52 dB(A)
入口法蘭處抗振性< 4.5 mms-1  (rms)
密封性(靜態(tài))< 1x10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

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