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天津瑞利光電科技有限公司


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aixACCT雙光束激光干涉儀aixDBLI

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產(chǎn)品型號(hào)aixDBLI

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更新時(shí)間:2022-11-16 14:56:57瀏覽次數(shù):259次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹

機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。

壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果已知?jiǎng)偠戎担瑒t可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

電氣和機(jī)電性能疲勞。

作為電氣薄膜測(cè)試的創(chuàng)新者,aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),該系統(tǒng)可進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。用于測(cè)量d33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)可提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度(x切割石英),可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間極短,僅為幾秒鐘?;谛碌臄?shù)據(jù)采集算法,測(cè)量速度提高了100倍。這使得比較了以相同激勵(lì)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進(jìn)行此類測(cè)量的主要障礙。

產(chǎn)品參數(shù)

分辨率:1 pm通過(guò)x-cut Quartz測(cè)試

位移/應(yīng)變測(cè)量:

50 Hz-5 kHz

100 mV至10 V

Max.25 V(可選)

壓電d33系數(shù):

偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可選)

小信號(hào)(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

電致伸縮M33:與d33相似

C(V)測(cè)量:

偏壓(1 mHz至1 Hz):100 mV至10 V

Max.25 V(可選)

小信號(hào)(1 kHz至10 kHz):100 mV至10 V

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