臺式勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝，主要應(yīng)用于溶膠-凝膠(sol-gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，

詳細(xì)介紹

　　晶圓勻膠機(jī)/噴膠機(jī),臺式勻膠機(jī)產(chǎn)品均采用觸摸屏加高級PLC程序控制系統(tǒng)，可編程分步運(yùn)行，精確控制，方便易用;,采用CNC一體化加工成型，內(nèi)腔內(nèi)壁呈凹面，有效防止膠液回濺。用于實(shí)驗(yàn)室、旋涂、清洗、顯影、熱板。桌面型勻膠機(jī)是一款臺式半自動勻膠機(jī)系統(tǒng)，功能強(qiáng)大，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片。

　　臺式勻膠機(jī)產(chǎn)品特色

　　1. 落地臺式機(jī)，結(jié)構(gòu)緊湊，所有單元集成在一臺設(shè)備中，集成度高。

　　2. 手動裝載/卸載

　　3. 襯底可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

　　4. 軟件提供用戶友好的操作

　　5. 直驅(qū)旋涂電機(jī)

　　6. 全軸電機(jī)驅(qū)動且可編程

　　7. 帶安全中斷傳感器的透明蓋

　　8. 外殼上有電源開關(guān) ON / OFF

　　9. 工藝腔和可更換防濺環(huán)，易于拆卸以進(jìn)行清潔。

　　10. 系統(tǒng)材料為PP材質(zhì)，耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。

　　11. 包括 0.5 升廢液瓶

　　 晶圓勻膠機(jī) 技術(shù)數(shù)據(jù)

　　1. 襯底尺寸: 可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

　　2. 電機(jī)轉(zhuǎn)速: 10.000rpm, 步長 1 rpm

　　3. 電機(jī)加速: 4.000 rpm/s

　　4. 步進(jìn)時間: 1 至 999.9 s，步長為 0.1s

　　5. 工藝腔材質(zhì): 由天然 PP 制成

　　6. 系統(tǒng)架構(gòu)材質(zhì): 由白色 PP 制成

　　7. 液體線路：

　　8. 3線: 2 x 24 V / 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

　　9. 5線: 6 x 24 V / 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

　　勻膠設(shè)備可選配項

　　1. 自動液體輸送臂 2. 液體罐 3. 防濺環(huán)

　　4. 廢液池 5. DI水沖洗 6. N2吹掃

　　7. 熱板 8. 不同類型的夾具 9. 中心定位模塊

　　勻膠機(jī)如何選購

　　勻膠工藝中最重要的一個因素就是可重復(fù)性。滴膠之后，下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到最終要求的膜厚，這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度，溶劑揮發(fā)速度，固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。

　　快速旋轉(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定最終膠膜的厚度。一般來說，勻膠轉(zhuǎn)速快，時間長，膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多，這些因素在勻膠時往往相互抵銷并趨于平衡。微細(xì)的工藝參數(shù)變化會帶來薄膜特性巨大的差異，下面對一些可變的因素進(jìn)行分析：