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SYSC-100A 高精度程控勻膠機(jī) 旋涂儀 Spin Coater

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更新時(shí)間:2022-12-19 18:21:19瀏覽次數(shù):663次

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產(chǎn)品簡介

SYSC-100A型高精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。精密高速伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速達(dá)8000rpm,轉(zhuǎn)速精準(zhǔn)。*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。全自動(dòng)程序控制。耐腐蝕,304不銹鋼機(jī)身,腔體采用NPP材料,旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用PEEK材料。安全保護(hù)功能,真空吸片檢測(cè),腔體關(guān)閉檢測(cè)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的......

詳細(xì)介紹


SYSC-100A高精度程控勻膠機(jī) 旋涂儀 Spin Coater


一. 產(chǎn)品應(yīng)用

SYSC-100A高精度程控勻膠機(jī)(Spin Coater),又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀,是*新一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。

二. 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī),具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。

2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能,*大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s(有負(fù)載的真實(shí)加速度)。

3. 兩項(xiàng)安全互鎖功能

(1) 勻膠腔體具有開啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能,確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng),防止勻膠過程中飛片造成 人身傷害;

(2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能,若發(fā)生真空泄漏,基片無法吸附牢固,則立即停止運(yùn)行。

4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作,防腐蝕、不生銹、易清潔。

5. 勻膠腔體采用德國勞士領(lǐng)NPP材料,經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液,避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。

6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國勞士領(lǐng)PEEK材料,經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。

7. 勻膠過程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過程*多可分十段進(jìn)行,每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)??蓛?chǔ)存50組工藝程序,隨時(shí)調(diào)用。

8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便;運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示,更直觀了解勻膠進(jìn)程;

9. 真空泵的開啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制,無需手動(dòng)操作。

10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟,預(yù)吸片時(shí)間"*多為99s,確?;喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟,解吸片時(shí)間"*多為99s,確保安全停止后再切斷真空,釋放基片,防止涂膜后的基片滑落,對(duì)膜層造成損傷。

11. 標(biāo)配無油真空泵,低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái),防止飛片。

三. 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

SYSC-100A

可鍍膜基片尺寸

?10100mm

旋轉(zhuǎn)速度

10~8000rpm

轉(zhuǎn)速分辨率

1rpm

速度精度

0.02%

旋涂加速度*

040000rpm/s

每段加速時(shí)間

999.9s

每段旋涂時(shí)間

9999.9s

時(shí)間分辨率

0.1s

預(yù)吸片時(shí)間

99s

解吸片時(shí)間

99s

**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤?50mm基片)的真實(shí)加速度.



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