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芯片測(cè)試設(shè)備高低溫真空探針臺(tái)

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產(chǎn)品型號(hào)T81-50 T80-50

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更新時(shí)間：2022-10-30 15:23:35瀏覽次數(shù)：271次

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北京錦正茂科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。

詳細(xì)介紹

高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品概述：

錦正茂高低溫真空探針臺(tái)可進(jìn)行真空環(huán)境下的高低溫測(cè)試（4.2K~500K），可升級(jí)加載磁場(chǎng)，低溫防輻射屏設(shè)計(jì)，樣品臺(tái)采用高純度無(wú)氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復(fù)性的PT100或者標(biāo)定過(guò)的硅二極管作為測(cè)溫裝置，支持光纖光譜特性測(cè)試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)，器件的高頻特性(支持頻率上達(dá)67GHz)，探針熱沉設(shè)計(jì)，LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試，自動(dòng)流量控制，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試等。

應(yīng)用范圍：

錦正茂高低溫真空探針臺(tái)高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試，材料測(cè)試，霍爾測(cè)試，電磁輸運(yùn)特性等。

可選附件：t 防震桌

t 多級(jí)壓縮制冷機(jī)

t 機(jī)械泵/分子泵組/離子泵

t 射頻部件

t 各類型頻率真空接頭

t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線等…

t 各類探針夾具

t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置

t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)

t 1Mpa正壓系統(tǒng)

t 超高溫升級(jí)選件

t 超高真空升級(jí)選件

技術(shù)指標(biāo)：

型號(hào)	T81-50探針臺(tái)	T80-50探針臺(tái)
制冷方式	液氦/液氮制冷	閉循環(huán)制冷機(jī)
腔體材質(zhì)	無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金
真空度	真空上等高達(dá)10-8Pa
真空腔觀察窗尺寸	2inch（可選）
控溫范圍	4.2K-450K	5K-450K
控溫分辨率	0.001K控溫儀相關(guān)
溫度穩(wěn)定性	0.1K控溫儀相關(guān)
降溫時(shí)間	40min	150min內(nèi)，視制冷機(jī)功率定
溫度傳感器	硅二極管、PT100（3個(gè)，樣品臺(tái)和探針臂和防輻射屏上各一個(gè)）
加熱電源	LVDC 低壓直流
樣品臺(tái)材質(zhì)	鍍金無(wú)氧銅
樣品臺(tái)尺寸	直徑20-50mm，可選100mm
樣品臺(tái)平整度	≤7μm
樣品臺(tái)固定方式	固定的樣品臺(tái)（可升級(jí)隨位移臺(tái)移動(dòng)）
樣品臺(tái)振動(dòng)級(jí)別	≤50納米	≤1μm（三級(jí)減震）
探針臂數(shù)量	2個(gè)、4個(gè)、6個(gè)、8個(gè)可選
探針臂機(jī)械精度	±12.5mm(可升級(jí)±25mm),精度1μm（可選）
探針?lè)N類	鎢、鈹銅、微波探針（可選高達(dá)67GHz的GSG探針）
探針調(diào)節(jié)	真空波紋管外部調(diào)節(jié)，手動(dòng)控制
放大倍數(shù)	16~100X/20~4000X
顯微鏡行程	X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm
電力需求	220V 50-60Hz