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MKS I系列IE500A質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間：2023-10-16 12:47:42瀏覽次數(shù)：217次

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產(chǎn)品簡介

IIP66額定的多氣體，多范圍彈性體密封250-500slm質(zhì)量流量控制器I系列IE500A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能

詳細(xì)介紹

IIP66額定的多氣體，多范圍彈性體密封250-500 slm質(zhì)量流量控制器

I系列IE500A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE500A的滿量程范圍為250 slm至500 slm（相當(dāng)于N2）。的控制閥設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)如此寬的流量范圍，該設(shè)計(jì)對設(shè)定點(diǎn)變化做出快速響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量質(zhì)量流量控制器。

· 流速從250到500 slm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

· 模擬，RS485，Profibus™或DeviceNet™I / O

· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％

· 1-2秒建立時(shí)間

技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍	250-500 slm（相當(dāng)于N2）	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)
入口壓力	150磅/平方英寸	貯存溫度	-20°至65°C
正常工作壓力差	40至50 psid	外部泄漏完整性	<1 x 10 （scc / sec他）
爆破壓力	1500磅/平方英寸	封閉閥的泄漏完整性	在40 psia至vac時(shí)<1.0％滿量程（<500 mTorr）
控制范圍	滿量程的2％至100％	濕材料	316 SS，Elgiloy，430FR，PTFE（標(biāo)準(zhǔn)）
典型精度	滿量程的20％至100％時(shí)為設(shè)定值的±1％滿量程的5％至20％時(shí)為滿量程的±0.25％	密封材料	Viton®（VI級）或EPDM（VI級）
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.5％	表面處理	平均Ra 16 µinch
解析度	讀數(shù)的0.1％	重量	12.7磅（5.8公斤）
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	外殼等級	IP66
跨度溫度系數(shù)	<讀數(shù)的0.08％/°C	合規(guī)	CE認(rèn)證
進(jìn)氣壓力系數(shù)	<0.08％的讀數(shù)/ psi	電源要求	+15至+24 VDC @（<8瓦）
典型建立時(shí)間	在50 psi的10％滿量程下典型<3秒	流量輸入輸出信號	電壓：0至5 VDC 電流：4至20 mA
熱身時(shí)間	1小時(shí)	模擬量I / O連接器	電壓：15針“ D"型公頭電流：15針“ D"型公頭
工作溫度	10°至50°C	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)

特征

快速建立時(shí)間

2至3秒的建立時(shí)間和低于設(shè)定值1％的設(shè)定點(diǎn)精度超過了其他典型的高流量MFC。精確控制保持在IE500A配置的滿量程流量范圍的2％。多氣體/多量程功能，以及針對精度，控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格，使用戶可以地減少高流量MFC零件編號的庫存。

多氣體/多量程功能

可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能（以及其他自定義控件），而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查，繪制流量響應(yīng)并存儲操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。

IP66防護(hù)等級

Thesre質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于要求抵抗液體和灰塵進(jìn)入的惡劣環(huán)境。應(yīng)用包括可能需要“軟管縮水"的應(yīng)用，例如工業(yè)玻璃生產(chǎn)中存在水分和微粒的情況。這些MFC具有IP66防護(hù)等級的外殼，可以滿足這些苛刻環(huán)境的嚴(yán)格要求。

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量控制器流量控制器控制閥

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