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MKS GE250A和GE300A質(zhì)量流量控制器

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多氣體，多量程，彈性體密封的100至300slm質(zhì)量流量控制器G系列GE250A和GE300A質(zhì)量流量控制器是通用的，彈性體密封的MFC，適用于多種應(yīng)用

詳細(xì)介紹

多氣體，多量程，彈性體密封的100至300slm質(zhì)量流量控制器

G系列GE250A和GE300A質(zhì)量流量控制器是通用的，彈性體密封的MFC，適用于多種應(yīng)用。GE250A的滿量程范圍為100到250 slm（相當(dāng)于N ₂）。GE300A的滿量程范圍為150到300 slm（相當(dāng)于N ₂）。利用的控制算法，對(duì)模擬I / O或數(shù)字I / O均可用，以快速，可重復(fù)地響應(yīng)設(shè)定值。

· 流速?gòu)?00到300 slm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％

· 1-2秒建立時(shí)間