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北京中科科美科技股份有限公司
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更新時間：2023-12-15 11:58:42瀏覽次數(shù)：154次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠實時顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠實時顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據(jù)，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。
性能參數(shù)：
1)、磁控靶沉積單金屬銻;
2)、腔體內腔尺寸：Φ600x420;
3)、具備偏壓清洗及輔助沉積功能;
4)、極限真空;5.0x10-5Pa(從常溫、氮氣破真空狀態(tài)下抽限真空度時長≤4小時);
5)、工作真空度：工作腔體真空度優(yōu)于2.0×10-2Pa(腔體加熱至300℃狀態(tài)下抽至工作真空度時長≤0.5小時);
6)、烘烤溫度max 300℃，常溫狀態(tài)升溫至300℃時長≤20分鐘，溫度測試精度≤±2℃。
7)、工件架：運行平穩(wěn)，轉速可調0.5-5rpm;
8)、產能約700件/日;
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