產(chǎn)品概述
采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS( Microelectromechanical systems)氣體質(zhì)量流量計和流量控制器,主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是重復性好,壓損小,無可動部件,量程比寬,響應時間較快,測量精度高,不用溫度壓力補償。
產(chǎn)品特點
1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體,并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)和材料加工技術,使流量計的微流量測量靈敏度提升。
3、微小流量氣體測量,ml/min級的微流量測控,實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個芯片的流量特性的微處理技術,使流量計的量程范圍提高。
5、機電—體化優(yōu)化設計,智能化的數(shù)據(jù)處理技術,使流量計具有好的重復性,實現(xiàn)了計量的準確。
5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計的壓力損失達到小化。
6、采用MF傳感技術,使流量計工作穩(wěn)定。
7、零點自校功能,測量準確。
8、多種氣體實際標定,全量程補償。
9、快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲,配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。
10、規(guī)格全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨標定。
11、精度等級高。
12、流量計報警功能,使監(jiān)控可靠。
13、操作、設置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設定相關參數(shù)。
14、運用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的選擇。
產(chǎn)品參數(shù)
測量介質(zhì):各氣體(乙炔氣和混合氣體除外)
流量范圍: DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注:(a)以上 流量的測量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上 流量的標準狀態(tài)20℃,101.325kPa。
(c) 每個口徑量程范圍均可擴大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定
2.3 流量測量準確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍:0-55℃;
2.5 工作壓力范圍:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa
2.6 供電電源:24VDC±10%;
2.7 輸出信號:4-20mA,RS485通訊;
2.8 環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9 顯示位數(shù):瞬時流量為三位,累積流量10位。
服務介紹
1、對本公司產(chǎn)品實行負責制,提供技術支持和技術服務;
2、對產(chǎn)品質(zhì)量實行三包,質(zhì)保期3年;
3、免費對用戶的工程技術人員就產(chǎn)品的使用、維護及一般的故障處理等方面進行培訓;
4、指導客戶安裝調(diào)試;
5、定期對用戶進行回訪和技術交流;
6、優(yōu)先對項目用戶提供產(chǎn)品和技術交流;
7、免費提供產(chǎn)品資料和說明書。