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更新時(shí)間：2023-02-23 14:31:11瀏覽次數(shù)：386次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線Chotest VT6000 共聚焦顯微鏡
視場(chǎng)范圍：160×160μm～1.6×1.6mm
掃描幀率：≥10HZ
高度測(cè)量精度：±(0.2+L/100)μm
寬度測(cè)量精度：±2%
XY移動(dòng)范圍：100×100mm
Z向移動(dòng)范圍：100mm
主要特點(diǎn)：高速并行掃描，高精度、高重復(fù)性
VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合多孔盤(pán)并行掃描技術(shù)、精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
VT6000共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車(chē)零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中。可測(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。
應(yīng)用：
半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC | |
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3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差 | |
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超精密加工.光學(xué)透鏡 | 精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片 |
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精密加工.金字塔型金剛石磁頭 | 標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度 |
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