上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質譜儀 QMG系列, 模塊化設計, 質量數范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu. 內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件. 殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲, 適用于多種測量用途, 使用壽命長.

詳細介紹

殘余氣體分析質譜儀 PrismaPlus--四級桿質譜分析儀
上海伯東代理德國 Pfeiffer 殘余氣體質譜 QMG系列，模塊化設計，質量數范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲，適用于多種測量用途，使用壽命長。
Pfeiffer 四極質譜儀 PrismaPlus 主要優(yōu)勢：
1. 模組化設計提供了產品適應性
2. 結構緊湊，性能出眾
3. 多種介面，系統(tǒng)集成簡單
4. 可通過乙太網網路化
5. 測試過程快速穩(wěn)定，解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設計保證的可靠性
8. 的可檢測分壓達1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體，操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術參數：

型號	QMG 220 F1	QMG 220 F2	QMG 220 F3		QMG 220 M1			QMG 220 M2		QMG 220 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)				電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300		1–100			1–200		1–300
四極桿直徑／長度	6/100 mm
最小檢測極限 F mbar	1X10^-12	2X10^-12	4X10^-12		5X10^-12			1X10^-11		2X10^-11
最小檢測極限 M mbar	-	-	-		1X10^-14			< 2X10^-14		< 4X10^-14
對Ar的靈敏度 F A/mbar	1X10^-3	6X10^-4	3X10^-4		5X10^-4			3X10^-4		1.5X10-4
對Ar的靈敏度 M A/mbar	-	-	-		200			200		100
工作壓力 F	1X10-4 mbar
工作壓力 M mbar	-	-	-		1X10-5			1X10^-5		1X10^-5
對臨近質量數的影響	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm		< 10 ppm			< 20 ppm		< 50 ppm
操作溫度 F	150 °C
烘烤溫度 F	200 °C / 300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
重量	2.4 kg	2.4 kg		2.4 kg		3.8 kg	3.8 kg		3.8 kg

殘余氣體分析質譜儀應用：四極質譜儀 QMG非常適合于檢漏，殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導體生產 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝

上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例一：分子束外延 MBE 氣體分析
Pfeiffer 質譜應用
上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例二：對 XPS 系統(tǒng)的分析室殘余氣體進行定性和半定量分析
上海伯東德國 Pfeiffer
上海伯東殘余氣體分析質譜儀客戶案例三：分析真空釬焊過程中產生的氣體成分和含量
普發(fā)質譜應用
1.設計緊湊
PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質譜儀。該四極質譜儀積累了豐富的應用經驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的結合是 PrismaPlusTM 四極質譜儀新的優(yōu)點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。
2.應用范圍廣闊
通過可選擇質量數范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質譜儀可以應用于多個領域，例如：工業(yè)和分析領域、研發(fā)、檢漏、半導體生產以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質譜儀是從，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領域的方案。
3.檢測速度快，靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質譜儀可以在三個不同的質量數范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規(guī)，PrismaPlusTM 四極質譜儀就可以作為一個精確的全壓監(jiān)控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數記錄的易讀平臺。結合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網，數位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點滑鼠就可以啟動預設的功能。