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行業(yè)產(chǎn)品

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科邁斯科技股份有限公司


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橢圓偏振光譜儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號Semilab SE-2000

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2025-02-11 09:32:41瀏覽次數(shù):97次

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商鋪產(chǎn)品:93條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

特點(diǎn)規(guī)格量測厚度,反射率,吸收率,表面結(jié)構(gòu)量測波長632

詳細(xì)介紹

  • 特點(diǎn) 規(guī)格
    量測 厚度, 反射率, 吸收率, 表面結(jié)構(gòu)
    量測波長 632.8 nm(He-Ne 雷射)
    量測時間 100 ms~2 s
    量測厚度 2 nm~6000 nm
    樣品平臺 200 mm (自動 Rho/Theta)
    反射角檢測 自動 / 手動
    角度 45° – 90° / 12° – 90°
    變化角度 5° / 1°
    重復(fù)性 0.01°
    準(zhǔn)確度 Psi:0.002°
    Delta:0.002°
    厚度精確度 0.01nm( 80nm Si3N4 on Si)

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