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ICP-601型: 耐氟基或更弱腐蝕性氣體刻蝕機

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更新時間:2022-12-17 18:50:55瀏覽次數(shù):279次

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產(chǎn)品簡介

應用方向:科研與教學產(chǎn)品優(yōu)勢:耐氟基或更弱腐蝕性氣體產(chǎn)品配置:★樣片數(shù)量及尺寸:1片Ф6英寸★刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等★刻蝕腔體:高真空系統(tǒng)★刻蝕不均勻性:±3%-±6%★刻蝕速率:0

詳細介紹

應用方向:科研與教學

產(chǎn)品優(yōu)勢:耐氟基或更弱腐蝕性氣體

產(chǎn)品配置:

★樣片數(shù)量及尺寸:1片Ф6英寸

★刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、SiO2、Si3N4、Ti、W、聚合物等

★刻蝕腔體:高真空系統(tǒng)

★刻蝕不均勻性:±3%-±6%

★刻蝕速率:0.1-4μm/min(視具體材料與工藝)

★工作臺:可升降,包含水冷

★電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動匹配

★氣路數(shù)量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路 或 用戶選配

★深硅刻蝕系統(tǒng):可選配

★He冷背吹系統(tǒng):可選配

★終點檢測控制:可選配質(zhì)譜儀

★操作模式:全自動+半自動控制

類似產(chǎn)品:帶單片送樣室(ICP-5100);帶單片送樣室耐氯氣腐蝕(ICP-5101)

設備詳細結(jié)構(gòu)與功能,請咨詢銷售工程師。

關(guān)鍵詞:工作臺 質(zhì)譜儀
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