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翌穎科技(上海)有限公司


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KLA臺階儀 D-300 探針式 表面輪廓儀

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產(chǎn)品型號D-300

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-01-29 08:43:50瀏覽次數(shù):975次

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產(chǎn)品簡介

KLA D-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

詳細介紹

KLA D-300 探針式表面輪廓儀




Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

    探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)??烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。


設備特點

· 臺階高度:幾納米至1000μm

· 低觸力:0.5至15mg

· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正:消除側(cè)視光學系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀


主要應用

· 臺階高度:2D臺階高度

· 紋理:2D粗糙度和波紋度

· 形式:2D翹曲和形狀

· 應力:2D薄膜應力


應用領域

· 半導體和復合半導體

· SIMS:二次離子質(zhì)譜

· LED:發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS:微電子機械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設備


關(guān)鍵詞:輪廓儀 傳感器
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