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行業(yè)產(chǎn)品

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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4軸機(jī)械臂4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-06-11 09:50:25瀏覽次數(shù):104次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:635條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn):超潔凈間用多軸型,4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi),檢查裝置等的晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):210mm,280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式

詳細(xì)介紹

4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂特點(diǎn): 


超潔凈間用多軸型, 4軸水平多關(guān)節(jié)型清潔機(jī)械手GCR4000-AM系列

適用于支持300mm的半導(dǎo)體制造裝置內(nèi), 檢查裝置等的晶圓搬運(yùn)

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng):210mm, 280mm

機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP

適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)玻璃基板

AC伺服電機(jī)的采用以及,對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化實(shí)現(xiàn)了搬運(yùn)動(dòng)作的高速化

比GHR4000類型速度快了1.8倍

晶圓固定方式:真空吸附式, 下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式

手指材質(zhì):CFRP(碳纖維), 鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對(duì)被搬運(yùn)物體種類,設(shè)備布局等要求提供的手指


4軸水平多關(guān)節(jié)型潔凈機(jī)械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達(dá)距離

400mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運(yùn)質(zhì)量

4kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




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