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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機(jī)械臂真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間:2024-06-12 08:18:38瀏覽次數(shù):57次

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商鋪產(chǎn)品:635條

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真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn):真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系

詳細(xì)介紹

真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂特點(diǎn): 


真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂SVCR3000系。適用于真空腔室內(nèi)的晶圓搬運(yùn)

相比SVHR系列機(jī)械手臂,可搬運(yùn)質(zhì)量提升2倍,具有較好的性價(jià)比優(yōu)勢(shì)

另外還保持了和SVHR系列機(jī)械手臂的兼容性,方便客戶對(duì)設(shè)備進(jìn)行升級(jí)改造

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂關(guān)節(jié)處使用磁流體密封裝置

真空密封:磁流體密封裝置和波紋管

提高潔凈度的方法:手臂內(nèi)部排氣口安裝5µm級(jí)過濾器

配備動(dòng)作監(jiān)視器

控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進(jìn)電機(jī)

S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓

可以選配2相步進(jìn)電機(jī)規(guī)格

手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式

可以針對(duì)搬運(yùn)物體,客戶設(shè)備布局的實(shí)際情況提供的手指


真空3軸圓柱坐標(biāo)型機(jī)械手臂基本參數(shù)


使用環(huán)境

真空部:溫度 15℃~50℃

驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部:潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

溫度 15℃~40℃

手臂

單臂

到達(dá)距離

520mm (手臂第3關(guān)節(jié)中心到達(dá)距離)

升降軸行程

20mm / 40mm

可搬運(yùn)質(zhì)量

2kg (手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn))




如需詳細(xì)產(chǎn)品參數(shù) 請(qǐng)聯(lián)系我們


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