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離子濺射儀NE-900

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更新時(shí)間:2023-03-08 16:26:43瀏覽次數(shù):223次

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產(chǎn)品簡介

離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理

詳細(xì)介紹

離子濺射儀NE-900依據(jù)二極(DC)直流濺射原理。濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自 動控制電路控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體。根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層均勻純凈。


產(chǎn)品參數(shù):

型號離子濺射儀NE-900
主機(jī)規(guī)格300mm×360mm×380mm(W×D×H)
靶(上部電極)50mm×0.1mm(D×H)
靶材Au(標(biāo)配)
樣品室硼硅酸鹽玻璃 160mm×120mm(D×H)
靶材尺寸Ф 50mm
真空指示表真空度:≤ 4X10-2 mbar
離子電流表電流:50mA
定時(shí)器最長時(shí)間:0-360S
微型真空氣閥可連接φ 3mm 軟管
可通入氣體多種
電壓-1600 DCV
機(jī)械泵標(biāo)準(zhǔn)配置 2L/S(國產(chǎn) VRD-8)


離子濺射儀NE-900產(chǎn)品特點(diǎn):

1、簡單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。
2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。
3、SETPLASMA 手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。
4、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路。
5、同時(shí)可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銥、銀、銅等),以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。


關(guān)鍵詞:離子濺射儀
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