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變螺距干式螺桿真空泵

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變螺距干式螺桿真空泵變螺距螺桿真空泵的特點(diǎn)極限真空的間隙設(shè)計(jì)和連續(xù)的壓縮方式,單泵就可達(dá)到0.0075torr(1pa)的極限真空

詳細(xì)介紹

變螺距干式螺桿真空泵


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變螺距螺桿真空泵的特點(diǎn)


極限真空

的間隙設(shè)計(jì)和連續(xù)的壓縮方式,單泵就可達(dá)到0.0075torr(1pa)的極限真空。


耐腐蝕

使用有耐腐蝕的性涂層材料。通過(guò)氣鎮(zhèn)閥裝置降低腐蝕性氣體的分壓力,可防止腐蝕性氣體凝結(jié)在泵腔內(nèi),進(jìn)一步提高耐腐蝕能力。


冷卻效果

采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋形冷卻水套,熱交換效率優(yōu)秀。泵內(nèi)部維持合理的較低的溫度,所以涂層損傷很低。


節(jié)能

變螺距螺桿的節(jié)能型設(shè)計(jì),可降低30%的電力消耗。無(wú)需把冷卻氣體供應(yīng)到泵的內(nèi)部。


可靠的密封結(jié)構(gòu)

唇形密封和機(jī)械密封加上氣體密封,形成三重密封結(jié)構(gòu)。安裝專為干式真空泵設(shè)計(jì)的高性能機(jī)械密封。


優(yōu)異的適當(dāng)加壓的氣體密封裝置,進(jìn)一步提高了齒輪油和被抽流程氣體之間的密封性。


流暢的排出構(gòu)造

迅速的排氣構(gòu)造。液體處理能力優(yōu)秀。排出氣體的脈動(dòng)減少。


氣鎮(zhèn)閥裝置的安裝

防止強(qiáng)腐蝕性氣體的凝結(jié)。降低易爆氣體的分壓力。


齒輪油冷卻水套

保持較低的油溫。防止因齒輪油高溫高壓產(chǎn)生漏油現(xiàn)象。防止因高溫帶來(lái)的齒輪油性能降低。


螺旋式夾套冷卻系統(tǒng)

采用符合流體動(dòng)力學(xué)的螺旋形冷卻水套,熱交換效率優(yōu)秀。無(wú)需把冷卻氣體供應(yīng)到泵的內(nèi)部。標(biāo)準(zhǔn)為直冷設(shè)計(jì)外部冷卻器作為選項(xiàng)


噪音和振動(dòng)

噪音(Noise),60Hz : 小于 82dB, 85dB ,50Hz : 小于 79dB, 82dB,


振動(dòng)(Vibration)


RMD150, RMD300, RMD400 : 小于 1.8mm/s,


RMD800 : 小于 2.8mm/s


RMD1500 : 小于 2.8mm/s


(基于ISO2372 : 4.5 mm/s)


技術(shù)數(shù)據(jù)

外形尺寸表



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